中古 KLA / TENCOR 5105 #293592897 を販売中

KLA/TENCOR 5105は、高度なウェーハ製造およびプロセス制御用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLAの実証済みの1Dおよび2D検査および計測技術に基づいており、スループットを向上させ、精度を向上させ、生産性を向上させるために、自己校正機能を備えた新しい300mm光学顕微鏡システムを組み込んでいます。このユニットは、自動化されたパターン認識とユニークなフォーカスアーキテクチャを備えた2Dジオメトリアライメントメトロジーを提供します。KLA 5105は、ライン幅の測定精度を向上させ、測定範囲を短縮し、効果的なライン幅の制御を可能にします。さらに、ボイド、傷、粒子状物質などのウェーハ欠陥を検出し、分析することができます。TENCOR 5105は、TENCORの革新的なコンフォーカルスキャン技術を採用し、データ収集時間と関連コストを削減しながら、正確で再現性の高い測定を保証します。このツールは、1つの完全なスキャンで48の測定ポイントを実行することができ、スループットが向上し、最終的な収率が向上します。統合された画像処理アルゴリズムにより、粒子解析の改善も可能になります。高度な低kVアセットにより、5105は200mmウェーハに最適化され、100ミクロン分解能で正確な粒度測定が可能です。この機能は、重要な欠陥を迅速かつ効率的に特定することにより、歩留まりをさらに向上させます。KLA/TENCOR 5105は、強力なOpticsFaber 4。2ソフトウェアを使用して、単一のウエハとフルパネルシーケンスの両方を短時間で分析するように特別に設計されています。このモデルには、内蔵のリアルタイムCMPモニターと、抵抗オープン欠陥を正確に分類および測定する欠陥分類装置が装備されています。全体として、KLA 5105はウェーハテストおよび計測に理想的なオプションであり、速度、精度、スループット、精度を向上させます。また、プロセス制御と歩留まりの最適化も可能です。このシステムは、重要な欠陥を監視および分析し、サイクル時間を短縮し、より高い歩留まりを達成するための貴重なツールです。