中古 KLA / TENCOR 5100 #9293246 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、半導体産業の高純度基板の生産を向上させるために設計されたウェーハ試験および計測機器です。この高度な自動化システムは、基板の純度を正確に測定および評価するために設計された一連のプロセスとシステムを実装しています。KLA 5100ユニットは、レーザー支援スキャンシステムを使用して、基板の特徴を高精度に測定します。さらに、電子ビームを使用して10ナノメートルの小さい特徴を検出する高度な非破壊試験機を備えています。このツールは、測定精度と試験結果の精度を保証する自動校正機能を備えています。TENCOR 5100アセットのもう1つの特徴は、AOIツールと高度な欠陥検査アルゴリズムを組み合わせてプロセス異常を検出する独自の欠陥検出モデルです。また、複数の基板を同時に追跡することができ、納入結果の精度を確保します。システムパフォーマンスを最適化するため、5100はテストレシピの迅速かつ効率的な変更を可能にするDRA （Dynamically Reconfigurable Automation）プラットフォームを実装しています。このプラットフォームを使用すると、異なるサイズと量のテストデータを指定することで、プロセスのニーズを満たすためにテスト条件を調整することができます。さらに、このユニットは、イーサネットまたはUSB経由でマシンをオンサイトで制御するなど、幅広いインターフェイスをサポートしています。また、KLA/TENCOR 5100ツールも高解像度イメージング用に設計されています。このアセットは、標準的な反射、計測、または暗視野の照明モードで基板の高解像度画像を提供します。また、CCD形式または5000ピクセルシリーズでのスキャンにも対応しています。さらに、画像処理機能により、複数の画像をステッチし、単一のビジョンターゲットにステッチすることができます。粉塵や汚染の感度を向上させるために、このモデルには、粒子の正確な識別と分類を可能にするデュアルレベルの粒子識別が含まれています。また、多軸ステージを備えており、柔軟な検査ルートを提供し、姿勢やプロセス制御システムの自動損失を備えています。全体として、KLA 5100ユニットは高度な計測機能と欠陥検出機能を提供し、自動校正機能と組み合わせて高純度の基板生産に最適化します。その高度なイメージングおよびパーティクル識別システムは、ハイエンド半導体業界にとって強力な選択肢となります。