中古 KLA / TENCOR 5100 #9236713 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、半導体製造業界のニーズを満たすように設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。最先端の光学技術、高速運転、幅広い機能、自動化された操作は、生産および研究所の両方にとって理想的なソリューションです。KLA 5100は、自動光学検査システムを備えており、あらゆる欠陥を自動的にスキャンすることができます。光学ヘッドは、2つのレーザーダイオード、イメージングユニット、2つの異なる基板角度を組み合わせており、ウェーハ表面の3D検査を可能にします。ミクロンスケールでの欠陥検出が可能で、毎秒最大4回の測定が可能です。TENCOR 5100には、高度な計測ツールと機能も含まれています。それは25ミクロンまでの乾燥したフィルムのレベルおよび50ミクロンまでのプロフィールを測定できます。また、最大+/-2ミクロンのオーバーレイ測定も可能です。さらに、このツールは、最大40ナノメートルの抵抗と膜厚を測定することができます。5100にはウェーハプローブステーションが内蔵されており、最大1ミクロンの精度でウェーハを制御することができます。さらに、この資産はウェーハを自動的にロードおよびアンロードすることができ、ユーザーの介入を排除します。KLA/TENCOR 5100はリモートコントロールとプログラミングも可能で、より簡単な操作とウェーハのより効率的な処理を可能にします。このモデルは、業界標準のほとんどの処理ツールと統合されており、さまざまなホストコンピュータシステムで使用できます。全体として、KLA 5100はウェーハテストと計測のニーズに対応する先進的で効率的なソリューションです。特徴の範囲、高速操作および自動化された仕事によって、この装置はあらゆる半導体の製作設備のための理想的な選択です。