中古 KLA / TENCOR 5100 #9236398 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、高度な製造および研究開発施設向けに設計された高性能ウェーハ試験/計測装置です。このシステムは、ユーザーがニーズに合わせてカスタマイズできる複数のテストおよび計測オプションを備えた再構成可能なプラットフォームです。KLA 5100のコアは、各ウェハの前面または背面全体の画像をキャプチャする広視野デジタルカメラで構成されています。これらの画像は、高度なマシンビジョンアルゴリズムを使用して分析し、粒子や傷などのさまざまな欠陥を検出することができます。さらに、リソグラフィー線の幅、層の厚さ、ダイサイズなどの重要なウェハプロセス結果を測定できます。TENCOR 5100は、高速スループット、正確な結果、使いやすさをユーザーに提供します。コンパクトでモジュラー設計で、設置スペースを最小限に抑えることができます。光源を使用してウェーハ全体をバックイルミネーションし、ミクロン以下の欠陥を検出することができます。最先端のCCDカメラを採用しており、従来のカメラよりも4倍高速です。5100には、統合校正、ドリフト補正、検査レシピ、レポート作成、ヒストグラム生成、データ転送など、いくつかの自動化されたプロセスが組み込まれています。KLA/TENCOR 5100は、最大4つの検査タスクを同時にサポートし、複数の異なるタイプの評価を同時に実行できます。さらに、このツールは複数の基板またはパネルサイズを同時に検査することができます。高度なパターンマッチングアルゴリズムにより、KLA 5100を使用して、ウェーハ表面の傷、穿刺、汚染などの損傷を効果的に検出できます。さらに、特徴パラメータを測定するための欠陥分類とコントラスト制御、およびリッジおよびサイドウォール情報を提供します。全体として、TENCOR 5100は業界をリードするウェーハテスト/計測資産であり、高速、高精度、堅牢、および反復可能な結果を提供します。これは、さまざまな顧客のニーズを満たすために、複数の検査および計測オプションを提供しています。柔軟な設計により、ユーザーはさまざまな製品検査や計測タスクに簡単にカスタマイズできます。その結果、5100は高度な生産および研究開発設備にとって貴重なツールとなります。