中古 KLA / TENCOR 5100 #9216348 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、効率的な生産ワークフローを容易にするように設計されたウェハテストおよび計測機器です。KLA 5100のプラットホームは完全分野、裏側（非接触）の表面の点検および測定システムで、絶え間ない手動操作のための必要性なしで包括的で、信頼できる欠陥の検出および正確さを達成する機能と。TENCOR 5100は、高度なイメージング技術と強力なイメージング解析ソフトウェアを使用して、検査および欠陥計測データを提供します。イメージングサブシステムは、欠陥検出と精度を最大限に高めるように設計されています。高速スキャンレーザーラインレチクル、テレセントリック光学、および高分解能インターライン転送CCDは、幅広いウエハタイプのフルフィールドカバレッジを提供します。オプションのロボティクスを追加することで、5100プラットフォーム全体を完全に自動化できます。ウェーハは、ロードポートからKLA/TENCOR 5100のチャックに転送し、最大限の効率でユニットで検査することができます。手動で操作すると、KLA 5100の人間工学的設計により、オペレータは標準的な人間工学的ツールと機能を備えた快適で人間工学的な位置で検査エリアの近くに配置されたままになります。高度な計測プラットフォームにより、ウェーハの状態と重大な寸法を正確に調査および分析できます。KLAの高度な機能（オートルーティング、ウォータードロップ欠陥カウント、対象領域の測定、フロントサーフェスマッピングのスクロールなど）は、信頼性の高い精度で幅広いウエハタイプを包括的に分析します。TENCOR 5100は強力なソフトウェアインターフェイスも備えています。これにより、すべてのマシンパラメータ、データ取得、画像解析、レポート生成の構成と制御が可能になります。包括的なオンボード欠陥解析ツールは、ウェーハの両側から迅速な欠陥分類を行い、特性評価を向上させます。5100は大量の生産の環境のために適し、容易な取付け、維持管理のために設計されています。このツールは拡張可能でアップグレードも可能で、ユーザーは必要に応じてカスタマイズすることができます。さらに、KLA/TENCOR 5100は、さまざまな製品や業界の特定のニーズを満たすために、さまざまな構成で利用できます。