中古 KLA / TENCOR 5100 #9182972 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、ウェーハパラメータの効率的かつ信頼性の高い測定を提供するウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、さまざまな重要寸法、トポグラフィーパラメータ、表面粗さ、およびその他の重要なウェハ特性を迅速に測定および分析するように設計されています。KLA 5100は、高度な光学および光変形センシング技術を使用して、ウェハの特性に関するデータを正確にキャプチャします。高解像度CMOSイメージングカメラ、高解像度分光計、高精度エンコーダ、ウェーハ動作用の高精度ステッピングモータ、および正確な測定のためのマルチチャンネル信号処理機を備えています。このツールは、ウェーハのプロファイルを高速、深度、正確にマッピングすることができます。ウェーハ表面のエッチングや薄化による地形の変化を検出することができます。アセットの高度な光学系は表面の地形を測定でき、高解像度のCMOSカメラは表面をスキャンしてフィーチャーのサイズ、高さ、位置を検出できます。TENCOR 5100は、ウェーハのプロファイルパラメータを測定するための高度な信号処理モデルを備えています。この装置は、ウェハ特性を正確かつ高速に検出できるマルチチャネル信号処理システムを備えています。このユニットはまた、測定データの精度を保証する精密なエアベアリングを備えています。機械によって収集されたデータは、ウェーハの重要な特性を分析するために使用されます。この解析には、フィーチャーのサイズ、フィーチャー形状、フィーチャーの表面粗さ、表面プロファイル、フィーチャーの位置、およびその他のパラメータの完全なレビューが含まれます。このデータは、製造メーカーがウェーハの問題を迅速に診断し、プロセスを最適化して製品品質を向上させるのに役立ちます。全体として、5100は高効率で信頼性の高いウェーハテストおよび計測ツールであり、迅速な分析と正確な測定のための高度な機能を提供します。ウェーハの重要な特性に関するリアルタイムデータを提供することにより、高品質のウェーハ生産を保証します。