中古 KLA / TENCOR 5100 #9043939 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、生産レベルのプロセス制御およびデータ分析用に設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。これは、いくつかの異なる既存の試験装置の機能を組み合わせて、驚くほど正確で迅速かつ信頼性の高い試験が可能な統合システムを作成します。KLA 5100は、4つのレーザーエンコーダでウェーハの特徴を測定し、単一のスキャンで超精密なフィーチャー測定を可能にするクアッドビームツールをベースとしています。さまざまな種類のエンコーダ処理システムをインストールすることができ、電気測定と光学測定の両方において卓越した柔軟性と測定精度を実現します。それはプロセス関連材料、塵および空気中の汚染物から敏感な器械使用を保護するために高度のプロセスチャンバーと組み立てられます。これにより、ドープされたウェハ、イオン注入、およびその他のプロセスツールの統合も可能になります。TENCOR 5100は非常に大きなプロセスウィンドウを備えており、単一のビームユニットで使用できるよりもはるかに高いスループットを実現します。5100の統合イメージングマシンは、高解像度で高速スキャン時間でウェーハの画像をキャプチャするために使用できます。これにより、重要な特徴特性と潜在的なプロセス異常を迅速に識別することが非常に容易になります。KLA/TENCOR 5100は、高度なアライメントシステム、高倍率光学、横計測などのハイエンド計測機能も備えています。これにより、臨界寸法（CD）などの小さなフィーチャーの精度測定や、電気性能特性の評価が可能になります。最後に、KLA 5100は複雑なソフトウェアを使用してプロセスの結果を収集し、最も最適で信頼性の高いプロセスを保証するために測定手順をテストし、分析します。これにより、発生する可能性のあるプロセスの問題を迅速に特定し、それらを解決するための是正措置を講じることができます。TENCOR 5100は、柔軟性、精度、スループット、分析の利点を生産現場にもたらす、非常に高性能なウェーハテストおよび計測ツールです。ウェーハプロセスの評価、改善、最適化に最適な資産です。