中古 KLA / TENCOR 5100 #293767084 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、ウェーハの高いスループットと非破壊解析を提供するウェーハ試験および計測機器です。Flip-Chip、 Standard Cell、 Memory集積回路の欠陥検出、特徴測定、一般電気試験が可能です。KLA 5100には、高精度および高スループット試験用の独自の光学ヘッドおよびデュアルレーザー干渉計が含まれています。この構成により、サブnmの測定精度で、200mmウェーハを5分以内に全面検査することができます。このユニットは、ブライトフィールドイメージングとパターン認識の組み合わせを使用して、ウェーハ薄層の欠陥を検出し、パターン化されたフィーチャーの品質を評価します。機械の設計は高度な画像処理を提供し、アラーム率の低下、欠陥検査の改善、および優れた分類をもたらします。TENCOR 5100は、信頼性の高い高速自動処理機能を備えており、さまざまなサンプルサイズを精密に測定することができます。その非接触干渉計はまた、ウェーハバンプやその他の地形の不規則性に対するクリーンな遷移を保証します。さらに、5100の高度な計測機能により、データの精度と精度が向上します。これには、拡張部分位相範囲、重要なOPC機能、背景再生などのいくつかの機能が組み込まれています。パターンチューニングパラメータにより、各パターンを複雑に最適化し、測定精度を向上させます。KLA/TENCOR 5100はまた、層間誘電体や他の酸化物などの幅広い重要な構造層を測定することができます。このツールは、変位構造を検出し、単波長を測定し、さまざまな種類のサイドウォールエッジを検出することができます。また、さまざまな材料や部品の性能を変更して最適化するために使用できる包括的なテスト方法も提供しています。全体として、KLA 5100は半導体業界にとって貴重なツールであり、半導体メーカーは欠陥の検出と分類、パターン化機能の測定、集積回路の一般的な電気試験を1つの資産で行うことができます。その特徴は、ウェーハ薄層などの材料を正確かつ高スループットでテストすることで、あらゆるウェーハ試験および計測アプリケーションにとって貴重な資産となります。