中古 KLA / TENCOR 5100 #293664945 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、エレクトロニクス業界で使用される高度なウェハテストおよび計測機器です。これにより、信頼性と再現性の高い結果を得ることができます。このシステムは、強力な高分解能顕微鏡ステージと、自動化されたインテリジェントなデータ解析ソフトウェアと統合された複数の物理特性評価ツールで構成されています。KLA 5100は、自動化されたウェハハンドリングマシンと垂直フィールドスキャン電子顕微鏡イメージングツールを備えています。自動化されたウェーハハンドラは、マイクロメートル精度で正確かつ再現性のあるウェーハの位置決めと向きを保証します。この走査型電子顕微鏡イメージング資産は、優れた解像度、高い再現性、およびウェーハの正確な計測のための広い視野を提供します。TENCOR 5100モデルの物理特性評価ツールには、レーザプロフィロメトリー、静的および動的イメージング、欠陥モニタリング、およびフラット測定に焦点を当てています。3Dプロファイリングおよび材料表面の測定のためのスキャン技術であるレーザープロフィロメトリー技術は、地形、厚さ、粗さ、高さ、粒子サイズ分析のための最高の深さの分解能を提供します。静的およびダイナミックイメージング技術は、パターン認識、欠陥分類、および多層ウェーハ監視のための追加の画像解析機能を提供し、歩留まりを改善し、障害を軽減します。また、欠陥モニタリング機能は、標的イメージングを使用して迅速かつ正確な欠陥特性評価を行い、ラインの露出や抵抗シフトなどの欠陥の特徴を特定してソートします。平らな測定に焦点を当て、生産品質管理のためのウェーハの正確な厚さまたは平坦度の測定を可能にします。調節可能なフォーカスインクルージョンは、特徴サイズと形状の特殊な測定を提供します。また、イメージングおよび計測コンポーネントによって収集されたデータを保存するメモリ管理機器もあります。5100システムに統合された高度なソフトウェアは、手動検査よりも高速かつ正確に画像や特性を分析できる自動アルゴリズムを提供します。また、ウェーハ測定アプリケーション向けに最適化された直感的なユーザーインターフェイスを提供し、強力なリアルタイム解析機能とデータビジュアライゼーションツールを備えています。この統合ソフトウェアスイートは、効率的なデータ分析、プロセスパラメータの半自動最適化、プロセスレシピのレシピベースの最適化を目的としています。要約すると、KLA/TENCOR 5100は、信頼性と再現性の高い結果を備えた精密ウェーハ検査と計測を提供する高度なウェーハ試験および計測ユニットです。強力な高分解能顕微鏡ステージ、複数の物理特性評価ツール、統合ソフトウェアスイートにより、迅速かつ正確な欠陥特性評価、地形評価、生産品質管理、およびレシピ最適化のための高度な機能を提供します。