中古 KLA / TENCOR 5100 #293630446 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、ハイスループットウェーハ検査および計測用に設計されたウェーハ試験および計測システムです。優れた設計と機能により、より迅速で正確なデータ収集と分析が可能になり、サイクル時間、スループット、コストを削減できます。KLA 5100は、高度なビジョン、オートメーション、センシング技術を活用して、ウェーハ表面を迅速に検査および分析します。レーザースキャン、偏光対照顕微鏡、3D光学イメージング、スペクトル反射イメージングなど、さまざまなイメージング技術を使用して、ウェーハの特徴と欠陥を測定します。TENCOR 5100は、自動ウェーハローダー、アンローダー、オリエンター、ソーターなど、幅広い高速ウェーハハンドリングオプションを備えています。このシステムは、最大8つの目的固有のツールをサポートし、高速で正確なアレイ解析のための高度なデジタル相互相関機能を備えています。5100は、粒子数、表面電荷、表面粗さ、ナノインデンテーション、ウェハマッピング、および表面結合試験を含む、高速で正確な測定値を提供します。重要な欠陥やスリップを再現性の高い迅速な識別と分類ができるように設計されています。システムの柔軟性により、マッチング、分析、ソート、オンウェーハテストなど、さまざまなユーザー定義可能な操作が可能になります。KLA/TENCOR 5100の独自の機能には、自動プロセス制御、高度な分析、データ収集、ウェハトラッキング、プロセス識別などがあります。これは、プロセス開発、特性評価、および生産のための定性的かつ定量的なデータを提供します。KLA 5100は、ウェーハ上の欠陥位置を迅速かつ正確に関連付けるための包括的なデータ解析ツールを提供します。TENCOR 5100は半導体産業において非常に貴重なツールです。その高度な技術とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、高いスループットウェーハ検査と計測のための信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。高速で正確な結果と高いレベルのスループットと柔軟性を提供し、サイクルタイムも短縮します。