中古 KLA / TENCOR 5100 #293630321 を販売中
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KLA/TENCOR 5100は、半導体の製造、研究、開発のためのベアおよびパターン化されたウェーハ上の重要なデバイス寸法を測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度なイメージング技術を駆使してサンプルの表面形状データをキャプチャし、広範な分光技術と高速光学検査によりインダイ/オンウェーハの結果を得ることができます。KLA 5100は、材料に最小限のストレスをかけながら、正確で再現性のある測定結果を得る高解像度イメージング技術を使用して、非破壊、非接触の方法で動作します。このシステムは、標準的な光学顕微鏡技術よりも視野が広い真の8インチ開口スキャンを提供し、より少ない検査サイクルでより多くのデータをキャプチャすることができます。高速光検査機能により、製品開発を加速し、ランプアップの取り組みを促進します。TENCOR 5100は、ウェーハとダイレベルデータの両方を分析することにより、ウェーハ材料、機能、欠陥、テストダイス、およびダイツダイの均一性の迅速な特性評価を提供します。さらに、インダイ計測機能により、ダイ構造の局所的な特性評価が可能になり、機能性が評価されます。このユニットには、自動フィーチャー抽出と解析のための特許取得済みのパターン認識エンジンが装備されています。このエンジンは、デバイスやポリゴンの画像を処理し、物理的なサイズ、形状、位置に関連するさまざまな計測データを抽出します。その強力な粒子分析ツールは、高度な異常検出アルゴリズムを使用して、研究の努力、粒子や他の機能を見つけるのが難しい検出をサポートします。5100はサンプル環境および適用の広い範囲を支える特定の顧客の要求を満たすためにカスタマイズすることができます。自由な永続的な機械はウェーハの並べ替え、工学、学術および研究の実験室によく適しています。さらに、自動または手動のプロセスの一部として、既存の生産プロセスラインに統合することができます。KLA/TENCOR 5100の非破壊的で高速なイメージングとデータ解析機能を組み合わせ、汎用性の高いコンパクトな設計により、最先端のウェーハテストと計測に最適です。このツールは、正確で実用的なデータを提供してサイクル時間を短縮し、コストを削減します。
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