中古 KLA / TENCOR 5100 #293619673 を販売中

KLA/TENCOR 5100は次世代のウェーハ試験および計測機器で、さまざまなウェーハ基板の計測および試験アプリケーションを幅広く提供します。このシステムには300mmのロボットユニットが搭載されており、ウェーハの迅速かつ簡単な積み下ろしが可能です。また、ウエハサイズは200mmから300mmまで対応可能で、生産および研究開発の両方のアプリケーションに対応できます。KLA 5100は高度な工具制御を採用しており、高スループットで効率的な操作が可能です。このツールは、大量の半導体メーカーのニーズを満たすように設計されており、高度な歩留まり管理と最適化を提供するように設計されています。このアセットは、曲率、平坦度、応力、厚さなどのパラメータを含む、ウェーハのさまざまな物理的、電気的、化学的、および機械的特性をテストおよび測定することができます。このモデルは、X線回折、楕円測定、微小粘度測定など、多くの非破壊検査技術を使用しています。また、原子力顕微鏡、電子ビーム検査、熱特性測定など、さまざまな相対的および絶対的な試験も使用しています。TENCOR 5100にはライブイメージング装置が搭載されており、ウェーハの全面的なテストカバレッジと高度な画像処理機能を提供します。このシステムは、1次元と2次元の両方のパターン認識をサポートしています。このユニットは高解像度のスキャンヘッドとチャンバーを備えているため、ユーザーは同じ領域を最大5倍の解像度で表示することができます。このマシンは、サンプルの自動位置決め、サンプルの自動処理、および自動触覚フィードバックを利用して、スループットを向上させるように設計されています。これにより、迅速な納期のためのウェーハの迅速なテストが可能になります。このツールはまた、高度な歩留まり管理のためのマルチアプリケーションテストを可能にします。5100は、マルチプラットフォーム、マルチベンダーの開発およびテスト機能を提供する一流のソフトウェアアプリケーションを備えています。この機能により、ユーザーはテストプログラムをカスタマイズし、結果を迅速に分析することができます。また、さまざまなプラットフォームのテストデータをシームレスに統合できます。アセットで使用されるすべてのソフトウェアアプリケーションは、既存のハードウェアおよびクライアントシステムと互換性があり、迅速かつ簡単にカスタマイズできます。全体として、KLA/TENCOR 5100は、さまざまなウェーハ基板に幅広い試験および測定機能を提供する高度なウェーハ試験および計測モデルです。これは、迅速かつ正確に欠陥を除去する必要がある大量の半導体メーカーにとって理想的なツールです。この装置は、効率的なテストとデータ分析を可能にし、テスト結果を迅速に報告することができます。さらに、その高度なソフトウェアアプリケーションにより、既存のハードウェアおよびクライアントシステムとの容易なカスタマイズと相互運用性が可能になります。