中古 KLA / TENCOR 5100 #293603716 を販売中

KLA/TENCOR 5100は、非接触光学ウェーハ試験および計測機器です。重要な寸法、欠陥、オーバーレイターゲットなどのデバイスパラメータの高精度、高速、正確かつ包括的なカバレッジを提供します。このシステムは、半導体、フォトニクス、およびMEMSデバイスで使用するために設計されています。KLA 5100は、フラットパネルディスプレイとモーター付きプラットフォームを内蔵したパワー駆動の接点マウントを備えており、ウェーハの端から最大300mmのサイズに移動できます。その高度な光学ユニットは、単軸、二軸、および3軸イメージング機能を提供するだけでなく、典型的かつカスタムの測定および分析機能の広い範囲を提供することができます。このマシンには、生産性を向上させ、精度を最適化するためのさまざまな自動化機能が装備されています。これらの機能には、自動フォーカスとアライメント、自動欠陥検出、自動コントラスト最適化とスキャン戦略、自動オーバーレイ登録、および自動プロセス最適化が含まれます。TENCOR 5100の高度な計測機能には、パターン化されたウェーハ、デバイスエッジ、デバイスコーナー、およびfind-failテストの上でのイメージングと測定が含まれます。エアベアリングスキャン、クローズドループパターンの位置決め・測定、埋め込み金型検査などの専門技術もご用意しています。高速スキャン機能により、より効率的なスループットを実現し、高度なアルゴリズムによりウェーハ検査性能を向上させます。5100も同様に欠陥のレビューと分析に適しています。変更検出、完全欠陥マッピングと分類、欠陥クラスタリング、ホットスポット解析など、幅広い障害解析オプションをサポートできます。全体として、KLA/TENCOR 5100は、高精度で信頼性の高いウェーハテストと計測に最新の機能を提供し、ユーザーは歩留まりの最大化、製品の性能と信頼性の向上、廃棄物とスクラップの削減を可能にします。