中古 KLA / TENCOR 5100 #293603393 を販売中
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ID: 293603393
Overlay inspection system
(2) PZT Sensors 450-451849-00
ALMB PCB 710-404368-00
Main frame
Console
Power stabilizer
Exhaust fan
LAMBDA 284BE-1A-1715 Power supply missing.
KLA/TENCOR 5100は、半導体製造の高度なプロセスとデバイス特性を提供するウェーハ試験および計測機器です。これは、サブ2xナノメーター方式の次世代デバイスのウェーハ特性評価用に特別に設計されています。このシステムは、高度なイメージング技術を使用して、さまざまな半導体プロセスにわたる低用量の散乱測定を定量化します。これには、高コントラスト検査用の光回折および伝送イメージングと、重要な欠陥やホットスポット測定を見つけるための独自のオートフォーカス光学ユニットが含まれます。KLA 5100は、正確かつ再現性の高い結果を保証するための重要な機能の両方を備え、迅速なスキャンレートと自動校正を提供します。内蔵のオートフォーカスにより、ウェーハをさまざまな深さに配置しても画像がピントを合わせることができます。また、自動アライメントルーチンにより、作業中にイメージングマシンが適切に整列します。また、幅広い材料に対して優れたアライメント精度と再現性を備えているため、光学系を簡単に操作し、異なる材料に素早く調整することができます。さらに、高度なデバイス特性評価のためのオーバーレイ測定やダイレクト測定など、さまざまなアプリケーション向けのさまざまなサンプリング技術を提供しています。この資産は、高速スキャン速度、低ノイズイメージング技術、およびデータが正しく保存され、簡単にアクセスできるようにするための統合データベースおよび分析ツールにより、高いスループットを誇っています。さらに、直感的な解析ソフトウェアや堅牢な欠陥データベース、リアルタイム計測解析などのインテリジェントなインターフェースコンポーネントと直感的なツールを備えています。このモデルの高度なロボティクス機能は、ユーザーがあらゆる位置に機器を素早く移動させ、手動のステージ移動や機能割り当ての手間を軽減することで、正確さを保証します。TENCOR 5100は、プロセスと生産能力の最大化を目指す半導体メーカーにとって貴重なツールです。このシステムは、迅速かつ正確にウェーハを特徴付けることができ、高収率ウェーハが最大の効率で市場に出回ることを保証します。さらに、データストレージや分析ツールなどの高度な機能により、収集したデータがシームレスに保存され、正確に整理されます。したがって、5100マシンは半導体製造の強力なツールであり、デバイスの特性評価に不可欠な洞察を提供し、品質管理とプロセス最適化を強化します。
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