中古 KLA / TENCOR 5100 XP #9248760 を販売中

KLA/TENCOR 5100 XPウェーハ試験および計測装置は、半導体ウェーハの測定およびテストに使用される汎用性と強力なシステムです。このユニットは、ウェーハを正確に特性評価し、電気的性能と信頼性を評価するために、幅広いパラメータを測定することができます。KLA 5100 XPマシンは、画像計測、電気測定、欠陥レビュー、分析の4つのサブシステムで構成されています。画像計測ツールは、ウェーハをスキャンし、粒子、傷、その他の表面異常の形で欠陥を検出するために使用されます。このサブアセットは、画像セグメンテーション、解析、欠陥のグレーディングを実行することもできます。Electrical Measurementサブモデルは、ウェーハ全体の抵抗と容量を含む電気パラメータを測定および分析するために使用されます。このサブ機器は、ゲート幅、ドーピング濃度、トランジスタ漏れ電流などの重要な情報も提供します。欠陥レビューのサブシステムは、電気的および光学的検証結果を監視およびレビューするために設計されており、障害のある要素と問題を修正するための戦略を迅速に特定できます。また、欠陥画像やテストデータのソートや解析も可能で、正確かつ再現性の高い結果を得ることができます。最後に、Analyticsサブマシンを使用して高度な分析を生成します。このツールは、欠陥を特定し、ウェーハ製造プロセスのさまざまな側面を洞察することができます。ウェーハテストや計測データの統計分析も可能です。結論として、TENCOR 5100XP Wafer Testing and Metrology Assetは、ウェーハテストと計測に幅広い機能を提供する汎用性と強力なモデルです。この装置は、幅広い電気および光学パラメータを測定することができ、プロセスを追跡および改善するための高度な分析を提供します。