中古 KLA / TENCOR 5100 XP #9145531 を販売中

KLA / TENCOR 5100 XP
ID: 9145531
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Overlay measurement system, 8" 1999 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XPは、半導体ウェハテスト、歩留まり解析、高度な欠陥および汚染制御など、幅広い用途で最大限の生産性とスループットを実現するために設計された先進的なウェハテストおよび計測機器です。KLA 5100 XPには自動化されたシステムが組み込まれており、サンプリング、欠陥プロファイリング、ウェハマッピング、計測など、さまざまな段階のウェハテストを統合および調整できます。また、要求の厳しい半導体アプリケーション用に特別に設計されたオプションの高度な計測ユニットも提供しています。TENCOR 5100XPは、独自のアップダウンウェーハアライナー、レーザー干渉計、ウェーハ検査イメージングマシン(WIIS)などのさまざまな技術を採用しています。このツールは非常に汎用性が高く、欠陥の場所、サイズ、種類について詳細な洞察を提供することができます。WIISツールは、高感度で表面および地下欠陥の画像をキャプチャすることができ、歩留まりを改善し、生産コストを削減するのに役立ちます。KLA/TENCOR 5100XPには、統計的欠陥解析、光線エッジ粗度測定、リアルタイム3Dウェハマップなど、多数の分析ツールが組み込まれています。KLA 5100XPは、オペレータに検査および測定精度を向上させるためのさまざまな機能を提供するように設計されています。これは、サポートソフトウェアモジュールや強力なQMet測定など、幅広い自動ウェハマッピングおよび計測ソフトウェアオプションで構成できます。このアセットには、高度な欠陥検出、分類、および分析機能も備えています。このモデルは、1つのダイで複数の欠陥を検出し、各欠陥の詳細な分析を提供することができ、製造業者は手動欠陥解析の時間のかかるプロセスを排除することができます。最後に、TENCOR 5100 XPは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、テスト設定をすばやく簡単に作成し、結果を簡単に表示できます。5100 XPには、ウェーハプローブステーション、ウェーハムーバ、およびその他のいくつかの電動機器など、いくつかの自動測定ツールも含まれています。これらの要素はすべて、最高の精度とスループットを確保するために調整された方法で連携します。
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