中古 KLA / TENCOR 5100 XP #293763497 を販売中

ID: 293763497
ヴィンテージ: 1996
Overlay inspection system 1996 vintage.
KLASKLA/TENCOR 5100 XPは、ハイスループット、精密検査、および機器の性能監視に高度な性能と機能を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体、MEMS、オプトエレクトロニクスなど、さまざまな基板タイプに最適化されています。KLA 5100 XPは、最大150ミクロンの高解像度イメージングと540ミクロンの広い被写界深度、および自動ウェハマッピングおよび登録機能を提供します。さらに、このユニットは統合されたダイせん断とダイ・カーフを備えており、個々のダイスとダイスの位置を迅速かつ信頼性の高い方法でテストすることができます。この機能は、歩留まりを最適化するために、ダイサイズを正確に測定する必要がある半導体製造業界の人々にとって特に有益です。また、TENCOR 5100XPは、光学臨界次元(OCD)、欠陥、オーバーレイ、リソグラフィ設定など、さまざまな高度な計測測定にも対応しています。さらに、統合されたデータ収集とトレーサビリティ機能も備えており、製造プロセスを通じて部品の進捗状況を追跡および監視することができます。KLA/TENCOR 5100XPは、ユーザーにレシピ管理ツールの完全なスイートを提供します。これにより、カスタムレシピ設定を含むすべてのウェハテストデバイスおよび計測機器のレシピを簡単に作成、編集、管理できます。さらに、このマシンは包括的なソフトウェア開発インターフェイス(SDI)を備えており、ユーザーは個々のニーズやアプリケーション要件に合わせてレシピをカスタマイズできます。TENCOR 5100 XPはユーザーフレンドリーで、簡単なインストール、操作、メンテナンスを可能にするように設計されています。クラス最高のアプリケーションサポートと包括的なサービスパッケージによって支えられており、パフォーマンスに関して非常に信頼性が高く一貫性があります。KLA 5100XPは、各アプリケーション固有の高度な診断および保守機能を提供するため、ツールの稼働時間を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。また、モデルの不具合を自動的に検出・修正できるため、手動でのトラブルシューティングや修理に要する時間を短縮できます。全体として、5100XPは高度なウェーハ試験および計測機器であり、高スループット、精密検査、および機器の性能監視のための高性能、利便性、および信頼性を提供します。その高度な機能と機能により、幅広いアプリケーションに対応する信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。
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