中古 KLA / TENCOR 5015XP #9105783 を販売中

KLA/TENCOR 5015XPは、歩留まりを改善し、サイクルタイムを短縮し、半導体メーカーのコスト削減を向上させるために設計された技術的に高度なウェーハ試験および計測機器です。市場をリードする人工知能と高解像度の空中イメージングを組み合わせることで、KLAは処理中のウェーハ上の個々のチップの特性を正確に識別、検査、測定することができます。このシステムは、個々のチップの形状とサイズを測定し、チップ表面を検査する際に高精度に設計されています。直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、オペレータは素早く簡単にテストパラメータを設定し、計測パラメータを即座に調整できます。また、独自の分析パッケージである次世代エッジ検出（NGED）を搭載しており、精密な測定のためのエッジ検出解析が可能です。これにより、オペレータは単一のポイントではなく複数のポイントでウェーハを分析することができ、各チップは個々のレベルで正確に分析されます。また、低騒音で高精度なモーションツールを採用し、振動の少ないエアベアリング設計により、ウェーハのスムーズで正確な位置決めが可能です。また、高速データ収集モデルや、各ダイの高解像度画像を撮影できる計測グレードのカメラを採用しています。KLA 5015XPにより、オペレータはエッジ定義、ダイサイズ、対称性、平坦性、循環性、面積、境界、臨界寸法など、さまざまなダイ特性を同時に測定できます。また、Etch、 Diffusion、 Lithography、 RoundRobinソフトウェアとシームレスに統合されているため、データのシームレスな後処理とポストプロダクションのアライメントが可能です。最後に、メンテナンスが必要な場合にリアルタイムでオペレータに警告するメンテナンス支援アラートユニットのため、システムは非常に信頼性が高いです。これにより、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性の向上とコスト削減を実現します。