中古 KLA / TENCOR 5011 #9226125 を販売中

KLA/TENCOR 5011は、ウェーハ分析や欠陥検出に使用される高精度のウェーハ試験および計測機器です。この計測システムは、走査型電子顕微鏡（SEM）技術と強力な光学イメージング技術を組み合わせて、ウェーハ表面全体の非常に詳細な測定と写真を取得します。KLA 5011は、シングルメトロロジーユニットで完全なウエハ解析と欠陥検査を提供します。TENCOR 5011は、ツールを介してすべてのウェーハ表面を操作するように設計された独自のウェーハトランスポートマシンを使用しています。このトランスポートアセットは、SEMイメージングおよび光学イメージングシステム全体でシリコンウェーハを正確かつ正確に輸送するように設計されています。ウェーハの位置が決まると、モデルは2次元（2D）エッジスキャン、3次元（3D）イメージング、非接触ステップハイト、ウェーハステップハイト、および抵抗測定を実行できます。5011は高精度と高速に最適化されており、幅広いウエハ解析と欠陥検出が可能です。この装置は、転位、プロセスバリエーション、粒子汚染などの欠陥を検出し、識別することができます。さらに、欠陥、ステージの問題、象眼線、形態学的特徴、抵抗指紋、その他様々なウェハ特性を通して印刷物を検出することも可能です。KLA/TENCOR 5011の光学イメージング部品は、ウェーハ表面の極めて高解像度の画像を提供することができます。これにより、検出不可能な欠陥や特性を識別することができます。また、光学イメージングユニットはダークフィールドモードの欠陥を検出するように構成されており、明確なコントラスト検出が可能です。ウェーハテストおよび計測機能に加えて、KLA 5011はデータ分析およびソートツールの包括的なセットも提供しています。この機能により、データをすばやく簡単に並べ替えることができ、検査の優先順位付け、欠陥のフラグ付け、計算や統計分析による歩留まり影響の判定が可能です。TENCOR 5011は、高精度で信頼性の高いウェーハテストと計測結果を提供できる強力で信頼性の高い機械です。このツールは、ウェーハサイズとプロセスの広範囲にわたる範囲を提供するように設計されており、ウェーハテストおよび計測分野で利用可能な最高精度と最速のスループットを提供することができます。