中古 KLA / TENCOR 5011 #293616228 を販売中

KLA/TENCOR 5011は、市場で入手可能な最も先進的なウェーハテストおよび計測システムの1つです。半導体ウェーハの幅広い重要な特徴と電気特性を測定するために使用されます。この装置は、8インチまでのサイズのウェーハを高精度で処理できるため、通信、電力、自動車、LED照明など、さまざまな業界に最適です。このシステムは、ウェーハ検査ステーションとウェーハ測定/試験ステーションの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハ検査ステーションには、顕微鏡、レーザー、フォーカスとアライメント、および画像処理機能が含まれています。ウェーハの表面・構造の詳細な検査・特性評価が可能です。各ウェハの高解像度画像を撮影することで、半導体製品の動作に影響を及ぼす不具合などを特定することができます。ウェーハメトロロジー/テストステーションは、強力な分光計とさまざまな自動試験および測定装置を備えています。このステーションは、ウェーハ上のさまざまな特徴と電気特性を正確に測定することができます。これには、膜厚などのウエハ表面の地形や、シートや接触抵抗などの電気特性の測定が含まれます。物理データと電気データの両方を提供することで、ウェーハ表面のプロセスバリエーションを正確に識別し、特徴付けることができます。これらの機能に加えて、このツールは優れたインライン欠陥検出機能も提供します。アセットの高度な検査および計測機能を活用することで、お客様はウェーハ表面にある欠陥や不規則性を迅速に特定、分析、および是正措置を講じることができます。全体として、KLA 5011は信頼性が高く、汎用性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。ウエハ表面の詳細な解析と特性評価、さらには高度な欠陥検出を提供することで、さまざまな業界のお客様にとって欠かせないツールとなっています。