中古 KLA / TENCOR 5011 #136438 を販売中

KLA/TENCOR 5011は、高感度で非接触の自動ウェーハ試験および計測装置です。ウェーハ表面検査、ウェーハ欠陥定位、臨界寸法（CD）測定、オーバーレイ誤差測定、表面プロファイル測定など、さまざまな半導体アプリケーションに使用されます。KLA 5011システムは、高速かつ超高感度のウェハデータ解析を可能にする2つの高度な非接触画像技術を使用しています。ウェーハ表面の特性評価に使用される光学散乱法（OS）技術は、複雑な表面構造を持つウェーハでも、精度と再現性を向上させて迅速な測定を可能にします。OSマシンの下に設置された走査型電子顕微鏡（SEM）イメージングユニットにより、オペレータはウェーハ表面上の単一の特徴または欠陥を識別、分離、分析することができます。これら2つの高度な技術は、統合されたKLAツールにリンクされており、ウェーハ表面の詳細スキャンやオーバーレイ情報などの重要な情報を提供します。これにより、オペレータはウェーハジオメトリ、欠陥、および組成を迅速かつ正確に分析することができます。TENCOR 5011アセットは、15秒のサイクルタイム、フルビットマップイメージ取得レート1。1秒、および200ウェーハ/時間のスループットを備え、高度に自動化されるように設計されています。また、2インチから8インチまでの直径のウェーハにも対応でき、最小機能サイズは1ミクロンです。このモデルの洗練されたアルゴリズムは、サブミクロンの特徴を持つ複雑な表面構造に対しても、高速で自動的な形状解析を可能にします。さらに、TENCOR独自の自動オペレータ機能により、ウェハマップ上の外れを迅速かつ正確に識別および評価できます。この機能は、トレンドを自動的に決定して表示し、プロセスパラメータの変更をすばやく検出します。5011装置は、堅牢な性能、速度、精度を提供するように設計されており、さまざまなアプリケーションで使用できます。KLA/TENCORは、基板エッジの測定、自動化された気孔と空隙解析、パンチ穴のアライメント、パッドサーフェス、スクリブラインなど、さまざまなオプションのアドオンモジュールを提供します。このシステムはアップグレード可能で、既存の生産ラインに統合できるように設計されています。その堅牢な性能により、オペレータは毎回信頼性の高いウェーハ試験結果を得ることができます。