中古 KLA / TENCOR 5000 #6428 を販売中

KLA/TENCOR 5000は、生産スループットを向上させ、品質管理を改善し、歩留まりを向上させるためのさまざまな技術を提供するウェハテストおよび計測機器です。これは、欠陥検査、レビューおよび分類、重要寸法測定、オンウェーハ測定などの重要なフロントエンド製造プロセスを自動化することができる統合された自動ウェーハメトロジーシステムです。KLA 5000ユニットは、デバイス測定のさまざまな段階を自動化および制御する統合ツールを備えています。機械の主要な部品は下記のものを含んでいます：充満結合された装置 ウェーハイメージング用（CCD）、自動ウェーハプロービング用6軸電動アーム付きプローバ、タッチスクリーンインターフェイス付き計測コントローラ、欠陥検出および分類用ビジョンライブラリ、寸法測定用レーザー干渉計、温度、湿度および圧力制御用の環境チャンバー、および精度測定用の温度顕微鏡室。このツールは、低k誘電体フィルム、高度なパッケージング基板、MEMSデバイス、ナノ構造材料、ひずみ基板など、さまざまな材料とプロセスを処理するように設計されています。さらに、アセットの各部分はデジタルに設計されており、ウェーハファブ、テストラボ、顧客サイトなどのさまざまな場所間で計測データを転送することができます。このようにして、顧客はデータをすばやく簡単に表示、分析、管理できます。TENCOR 5000モデルは、高度な欠陥検出、レビュー、分類技術と組み合わせて、デバイスの性能に関する貴重な知識を提供します。これにより、欠陥の挙動を特定し、製造プロセスのばらつきや弱点を特定することができます。また、CDSEM技術とAFM技術を組み合わせることで、複雑な構造を正確に解析できる高解像度イメージングを得ることができます。高度な技術と自動化された制御により、5000台の機器はフロントエンド製造プロセスの効率と精度を大幅に向上させることができ、お客様は高品質のデバイスを生産し、歩留まり制限の問題をより費用対効果の高い方法で解決することができます。