中古 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #9284003 を販売中

KLA/TENCOR 5000 Surfscanは、最新の半導体加工に使用するために設計された高度なウェーハ試験および計測プラットフォームです。表面トポグラフィの高速測定が可能です。測定精度、スループット、柔軟性に優れているため、ウェハテストや計測においてこれまでにない生産性を実現できます。Surfscanは、ユーザーが特定の要件に合わせてシステムをカスタマイズできる高度なモジュラーアーキテクチャに基づいて構築されています。複数の測定ステージ、さまざまな高度な検出器、ドライブ、測定アルゴリズムなど、幅広い機能とオプションを備えています。これらの機能により、シリコンウェーハ、ガラス、セラミックスなどの各種基板の試験が可能です。このユニットには、干渉計、共焦点顕微鏡、表面プロファイルなどの高度な測定機能が装備されています。干渉計を使用すると、表面の地形を正確に測定できますが、共焦点顕微鏡を使用すると、ステップの高さや凹凸領域の幅などの微妙な高さの変化を検出できます。表面プロファイルは、ウェーハ平坦度の分析に使用され、高分解能の結果を提供します。また、高精度のステッピングモータを搭載し、基板の高速スキャンを可能にし、表面構造の詳細な画像を生成します。さらに、Surfscanは、粒子、粒子のエッジの粗さ、エッジヒロックや溝などの欠陥を測定することができます。Surfscanに付随する高度なソフトウェアパッケージは、ウェーハの平坦性と欠陥特性の完全なデータ可視化と分析を目的としています。ウェハボウ、厚さ登録、クリティカル寸法（CD）マッピング、欠陥カウント、粒子サイズ、非均一性など、ユーザーにとって興味のあるさまざまなパラメータを検出して測定できます。このツールは、信頼性の高いプラットフォームに基づいて構築されており、優れたユーザーフレンドリー性を備えています。これは、ユーザーが素早く資産のすべての機能と機能にアクセスすることができます近代的なユーザーインターフェイスが装備されています。さらに、このモデルは簡単に設定およびトラブルシューティングできます。KLA 5000 Surfscanは、高精度の測定と優れたスループットを提供する業界をリードするウェーハテストおよび計測プラットフォームです。カスタマイズ可能で機能豊富で、ウェーハテストと計測に優れた性能を提供します。