中古 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #64216 を販売中

KLA/TENCOR 5000 Surfscanは、高速で正確な画像解析を提供するウェーハ試験および計測機器であり、処理されたウェーハ上のデバイスの高解像度検査を可能にします。このイメージングシステムは、電動XYステージ、CCDカメラ、および敏感な照明からなる高度な設計を利用しています。このユニットは、従来の静的システムの最大7倍の速度で画像を取得し、欠陥検出と特性評価のための極端な感度を提供します。自動化されたステージの高速スキャンは、革新的な電動制御装置によって駆動され、高速画像取得により、ウェーハの地形の詳細な分析が可能になります。KLA 5000 Surfscanは、計測およびプロセス監視アプリケーション向けに最適化されており、重要な構造の測定、欠陥の寸法およびサイズ設定、画像ベースのソートおよび欠陥の分離を実行できます。このツールは、1ピクセルあたり1ミクロンの解像度で、サブピクセルの解像度を必要としません。これにより、高精度な測定が可能になり、プロセス変動の迅速かつ正確な監視と修復が可能になります。このアセットには、オペレータ、分析および測定ツール、イメージデータベースおよび統計分析機能が含まれています。表面寿命やrms粗さなどのさまざまなデバイス地形データを分析することができ、さまざまな形式でデータを表示する強力な機能を提供します。直感的で使いやすいユーザーインターフェイスにより、検査タスクを迅速かつ正確に実行できます。TENCOR 5000 Surfscanは、業界をリードするサブピクセル精度と欠陥ヘッディングを誇り、V溝、接触穴、誘電層など、高精度を必要とする複雑な機能のさまざまなパターンを検査できます。さらに、高度なプログラム可能な計測および解析ソフトウェアにより、欠陥の正確な特性評価が可能になります。これは特に歩留まりを改善し、プロセス開発を加速し、ウェーハの損失を減らすように設計されており、5000 Surfscanは半導体および電子機器メーカーにとって理想的なウェーハ試験および計測モデルとなっています。