中古 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #293590364 を販売中

KLA / TENCOR 5000 Surfscan
ID: 293590364
ウェーハサイズ: 8"
Inspection system, 8".
KLA/TENCOR 5000サーフスキャンは、高度で高性能なウェーハ試験および計測機器です。この次世代ツールは、優れたハードウェアとソフトウェアとともに、高いスループット、再現性、信頼性の高い表面解析によって優れた結果をもたらします。このシステムは、ウェーハアプリケーションのための厳しいイメージングおよび分析要件に対応するように設計されています。高い倍率と解像度、高速スキャンとデータ収集、優れたウェーハ間の再現性、および計測および表面解析ソリューションの包括的な範囲を提供します。ブレミッシュフリーイメージングプロセスを使用して、正確なグレインサイジング、表面仕上げ評価、欠陥測定、組成解析、3Dトポグラフィに最適な超シャープな画像を作成します。KLA 5000サーフスキャンは、単軸ステージと多軸ステージを選択できるモジュラープラットフォーム上に構築されています。これは、解像度の柔軟な範囲と650mm x 650mmの最大スキャン面積を持っています。このユニットは、高解像度のバックサイドイメージングマシンや自動ダイツダイスキャンモジュールなど、さまざまなアクセサリでアップグレードすることもできます。これにより、TENCOR 5000 Surfscanで実現できるアプリケーションの範囲が拡大します。光学分野では、このツールには最先端の光学ヘッドが装備されており、優れたイメージング性能を保証します。高解像度の光学ヘッドには、回折制限光学系、自動LEDレベル制御、および冷却デジタルカメラが備わっています。また、グラフィカルインターフェイスと内蔵の反射ビジョンアルゴリズムを備えた直感的で使いやすいユーザーインターフェイスも備えています。高い直線性、再現性、精度を備えているため、ユーザーはサンプルの重要なパラメータを綿密に監視できます。5000 Surfscanは、2Dおよび3D統計分析およびレポート作成も可能です。自動ステッチや欠陥解析など、データ解析用の堅牢なソフトウェアが含まれています。KLA/TENCOR 5000 Surfscanは、真に高性能で汎用性の高いウェーハテストと計測ツールです。堅牢な設計と最先端のコンポーネントにより、信頼性と再現性に優れた結果が得られ、正確な表面解析や計測が必要な業界にとって貴重なツールとなります。この次世代モデルは、半導体製造や故障解析から先進的な材料研究開発まで、幅広い用途に最適です。
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