中古 KLA / TENCOR 50-0002-03 #199615 を販売中

KLA/TENCOR 50-0002-03は、半導体メーカーに高度な欠陥検出機能を提供するウェハテストおよび計測機器です。KLA 50-0002-03システムには、自動ウェハ識別、ウェハエッジデータ収集、光学検査、電気計測、オーバーレイ登録、サイト間/クロスサイト比較機能などの機能が含まれています。自動化されたウェーハ識別機能により、適切なウェーハを正確に識別し、それに応じて検査セットアップを生成できます。ウェハエッジデータ収集機能は、10mmおよび3mmサイトのエッジデータを収集し、アライメントとフォーカスの安定性を確保します。光学検査機能は、3D静的および動的欠陥検出を提供し、幅広い欠陥サイズを提供します。電気計測機能は、シート抵抗、接触抵抗、静電容量、導電率など、幅広い電気パラメータを測定します。さらに、デルタ抵抗、漏れ電流、故障電圧、およびスレッショルドを測定して、動的電気試験を行うことができます。TENCOR 50-0002-03のオーバーレイ登録機能により、計測、ウェハハンドリング、露出プロセスにおけるウェハアライメントおよびオーバーレイ制御を測定できます。サイト間/クロスサイトの比較機能により、製造工程中に欠陥検査と電気測定を同時に行うことができ「、リファレンスサイト」と呼ばれる標準と比較することができます。許容欠陥率、サイズしきい値、合格/不合格基準などのユーザー定義の検査パラメータを、テストごとにツールに入力できます。また、検査データをデータベースに保存して統計分析することも可能です。要約すると、50-0002-03は、自動ウェーハ識別、ウェーハエッジデータ収集、光学検査、電気計測、オーバーレイ登録、サイト間/クロスサイト比較機能を備えたウェーハテストおよび計測資産です。これらの機能により、幅広い電気パラメータの測定と比較、欠陥の検出とサイズ、統計分析のための結果の保存が可能になります。このモデルは、高度な欠陥検出および計測機器を探している半導体メーカーに最適です。