中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9229796 を販売中

KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、ウェーハ検査と計測の両方に最高レベルの性能と精度を提供するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA 4500 SURFSCANは、広い視野、150mm、 200mm、 300mmの光学系を組み合わせ、最高の解像度を実現し、最新の高度なソフトウェア制御を備えており、最も要求の厳しい表面特性評価アプリケーションに最適です。TENCOR 4500 SURFSCANの中核には、最高レベルの精度と速度を提供するように設計された、大面積のハイスループット光学顕微鏡（HTOM）があります。このシステムは、広い視野、150mm、 200mm、 300mmの光学系の組み合わせ、およびさまざまなコントラストモードを備えています。このユニットは、実行ごとに15個のウェーハを同時にキャプチャすることができ、サンプルを停止して再配置する必要なく、複数のウェーハの強力で正確な表面解析を一度に提供できます。最新の高度な校正方法を利用することで、最初の校正から最大4シグマの高さ変化を正確に測定できます。4500 SURFSCANはまた、その広い視野と印象的な光学性能を最大限に活用するように設計された高度なソフトウェア制御が装備されています。このツールは、リアルタイムの結果をすばやく処理して生成できる強力な画像解析ソフトウェアを搭載した直感的なユーザーインターフェイスを備えています。このソフトウェアを使用すると、通常必要な数分の1の時間内にスキャンを簡単に制御、分析、解釈できます。ウェーハイメージングに加えて、KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、クリティカル寸法スキャンやオーバーレイ測定などの完全な2D/3D計測機能も提供します。これにより、複雑なデバイス製造プロセスが大幅に簡素化され、ユーザーはライン幅、トレンチ、幅、高さなどの重要な機能を正確に制御できるようになります。KLA 4500 SURFSCANはまた、その印象的な「Smartscan」技術のおかげで、さらに強化された機能を提供します。この自動化された機能は、各ウェハに4つのレーザーを使用して複数のウェハを素早くスキャンすることができ、顕微鏡的欠陥を迅速かつ正確に検出することが容易になります。これは、自動欠陥検出ソフトウェアによってサポートされているため、大規模なウェハサンプルを迅速に分析し、欠陥を特定することができ、最も先進的なウェハテストおよび計測システムの1つです。全体として、TENCOR 4500 SURFSCANは卓越したレベルの性能と精度を提供し、最も要求の厳しい表面特性評価ニーズにも最適です。広い視野、優れた光学、高度なソフトウェア制御、自動化された機能を備えた4500 SURFSCANは、表面を迅速かつ正確に分析しやすく、これまでにないレベルの生産性と信頼性を提供します。