中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #69242 を販売中

KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、クラス最高の検査および計測性能を提供するウェハテストおよび計測機器です。高速パターン化されたウェーハ検査と欠陥レビュー、3D測定、プロファイルマッピングによる形状測定、インラインレビューを1つのユニットで組み合わせています。KLA 4500 SURFSCANは、最先端のマルチタスク、マルチスレッドアーキテクチャ上に構築されています。4500マシンは、最適なウェーハ品質管理のための強化されたパフォーマンスを提供します。フロントエンドのロードとアンロードの両方で真の自動化を実現し、スループットを向上させて再現可能な精度を実現します。このツールはまた、計測の繰り返し可能な自動化されたパフォーマンスを提供し、一貫性の再現可能な精度を保証します。TENCOR 4500 SURFSCANは、強力なアセットアーキテクチャを使用して高速なパフォーマンスを実現します。たとえば、最大5。2MPixels/secのスキャンレートで、1時間あたり最大20個のウェーハを提供できます。高度な検査機能により、狭いスペース、小さな欠陥、コーナーパターン、およびゲートの長さに関する詳細な情報を得ることができます。また、高度なパターンマッチング機能により高度なパターン認識を実現しています。計測のために、4500 SURFSCANは、高速3D測定、プロファイルマッピング、散乱計、反射計による形状測定を備えています。オンボードコンピュータを介して、完全に特色のある結果を生成し、データをレビューし、レポートを迅速に生成できます。KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、完全に自動化されたエンドツーエンドのウエハハンドリングを提供する産業用ロボットプロトコル（IRP）で構築されています。スキャンして測定するウェーハの積み降ろしを1つのパスで管理でき、人間工学に基づいた独自の設計により、簡単で直感的なユーザーアクセスが可能です。システムの直感的なソフトウェア設計は、簡単な操作のための使いやすいインターフェースを提供します。KLA 4500 SURFSCANは、機械指向ツールの包括的なスイートを通じて、自動化されたユニット操作を提供します。Analyzer Tool Suite、 Standards Manager、 Defect解析などの自動化ツールにより、重要なステップを定義し、ハンズオン時間を短縮できます。このツールは、データストレージ、バックアップ、リカバリを備えた安全な作業環境も備えています。TENCOR 4500 SURFSCANは、信頼性、再現性、スループットの向上など、エンドユーザーにさまざまなメリットを提供します。その高度な機能により、サブミクロン計測および欠陥レビューにおける高性能な品質管理に最適なソリューションです。ウェーハテストおよび品質管理アプリケーション向けの信頼性の高い包括的な資産です。