中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293824952 を販売中

KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、高度なウェハテストおよび計測機器です。フィルム厚、sウェハトポグラフィ、その他の重要な幾何学的パラメータの高精度、高スループット測定に最適です。このシステムには、スキャン電子顕微鏡（SEM）と統合エリプソメータが含まれており、すべての重要なウェーハ表面パラメータを同時に測定できます。統合されたソフトウェアパッケージにより、高度な計測機能が可能になり、データを迅速かつ正確に分析し、フィルムの不連続性と粒子の汚染を特定することができます。KLA 4500 SURFSCANは、高速スキャン速度と広い測定範囲を備えているため、さまざまなウェーハ試験アプリケーションに適しています。このユニットは、高解像度イメージングと解析に高度な12ビット充電結合デバイス（CCD）カメラを使用しており、特定のアプリケーションで利用可能なアクセサリの広い範囲を利用しています。ウェーハトポロジ、酸化物厚さ、エッチング深さ、その他の重要な形状など、さまざまなウェーハパラメータを測定できます。統合されたソフトウェアパッケージにより、ユーザーはレイヤサーフェスの対称性と均一性を簡単に評価し、情報をグラフィカルに表示できます。このツールには、パーティクルアナライザパッケージも内蔵されており、ユーザーはパーティクルコンタミネーション用の着信ウェーハをすばやく分析できます。統合された粒子追跡ソフトウェアは、1ミクロンの大きさの粒子を検出することができます。粒子解析パッケージには、画像保存と高度なパターン認識アルゴリズムが含まれ、粒子誤検出を低減します。TENCOR 4500 SURFSCANは、重要なウェーハパラメータを評価するための優れた計測およびイメージングツールです。超高解像度3Dイメージングなどの高度な計測アプリケーション向けに特別に設計されています。4500 SURFSCANは、表面形状やウェーハの厚さなどのパラメータを測定することができ、ウェーハの状態を迅速かつ正確に評価することができます。統合された粒子解析パッケージは、ウェーハ試験における最高レベルの精度と歩留まりを確保するのに役立ちます。