中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293627875 を販売中

KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、半導体メーカー向けの高度な計測およびウェーハ試験装置です。厚さ、表面平坦度、ステップ高さなどの重要な寸法の生産ウェーハを測定、分析、評価するために使用されます。このシステムは、オペレータやエンジニアにリアルタイムのフィードバックを提供し、ウェーハの品質を維持し、厳格なプロセス制御を保証するように設計されています。KLA 4500 SURFSCANは、高度な顕微鏡技術を使用して、表面の高解像度3D解析を行います。Piezoスキャナーを使用して、迅速かつ正確な位置決めを行い、サンプルを照明するための明るい白色光源を使用しています。これにより、サンプルの特徴を測定および評価する際のサブナノメートル分解能が可能になります。このユニットは、200nmの小さい特徴を検出して測定することができます。TENCOR 4500 SURFSCANは、いくつかの異なる種類のウェハマップと地形データを生成することができます。これらには、サンプル全体の表面を示す基本的なマップと、より細かい不規則性と3Dサーフェスプロファイルの詳細なマップが含まれます。これにより、高いリスクや懸念事項の特定や特定が容易になります。また、CD統計、オートフォーカスビニング、ウェハグレードマップなどのデータをすばやく生成するための統計解析ツールも豊富に用意されています。このデータを使用して、セットCDの均一性の仕様とウェーハを比較し、外れ値を識別することができます。4500 SURFSCANツールは、さらなる分析や品質管理のためにデータを保存してエクスポートすることができます。このアセットは、機能が特定の閾値を超える場合など、外部パラメータが満たされたときにライブの「アラート」を生成するためにも使用できます。これにより、ほぼリアルタイムのフィードバックが得られ、メーカーは必要に応じて即時の是正措置を講じることができます。要するに、KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、厳密なプロセス制御とウェーハ品質を確保するために、極めて精度の高いウェーハを測定および検査するために使用できる強力なツールです。このモデルは、詳細なデータセットの生成、特徴と異常のマッピング、およびサードパーティの分析ツールや品質管理システムへのデータのエクスポートが可能です。