中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293605541 を販売中

KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、半導体ファブやその他のウェハ集積環境での使用に最適なウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、表面形態解析と膜厚測定に独自の機能を提供し、プロセスエンジニアと歩留まり管理担当者が製品品質について迅速かつ正確に洞察を得ることができます。4500プラットフォームをベースとしたKLA 4500 SURFSCANは、テストウエハの表面全体を特徴付けるために特別に設計された非破壊光学表面測定ユニットを提供します。この機械は1ナノメートルよりよい深さの決断とステップの高さ、粗さ、弓、およびねじれのような表面のプロフィールそして変数を測定します。このツールはまた、フォトレジストおよび金属、ならびに酸化物および窒化物で最大400 nmの膜厚を測定する能力を持っています。TENCOR 4500 SURFSCANは、専用の操作と品質保証モードで非常にユーザーフレンドリーに設計されています。ユーザーコントロールソフトウェアとウェーハメトロロジーアセットのシームレスな統合により、精度とパフォーマンスを犠牲にすることなく操作を簡素化できます。リアルタイムでプロセスパラメータを最適化するためのさまざまなユーザーフィードバックオプションを提供しています。これには、リアルタイムのSPCトレンドデータとビジュアル、オンウェーハ測定、自動化されたプロセスアルゴリズムが含まれます。モデルの性能に加えて、4500 SURFSCANは最適な信頼性と再現性のために設計されました。装置は温度および振動許容、優秀な長期性能のための堅牢な設計です。また、ウェーハ測定エラーを防止するためのアクティブなモニタリングと診断を提供し、精度を保証するための校正ルーチンを内蔵しています。KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、設計精度、精度、信頼性の印象的な組み合わせを組み合わせた強力なシステムです。プロセスエンジニアと歩留まり管理担当者は、直感的なインターフェイスにアクセスして、製品品質について迅速かつ正確に洞察を得ることができます。このユニットは、あらゆるウェーハの強烈なシーンに最適なソリューションであり、高性能、信頼性の高い結果、およびプロセスパラメータを最適化し、製品品質の洞察を得るためのコスト効率の高い方法を提供します。