中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293603502 を販売中

KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、半導体業界で使用されるウェハテストおよび計測機器です。半導体ウェーハの特徴を高精度・高感度で測定できるように設計されており、製造工程の監視・品質管理が可能です。欠陥検査も可能で、プロセス開発やレチクル認定にも使用できます。KLA 4500 SURFSCANシステムは、明るい光源、線形電動ステージ、レーザー干渉ステージ、およびCCDカメラを使用して、データを迅速かつ正確に取得します。このユニットは、2〜4インチの半導体ウェーハを測定するように設計されています。ウェーハの厚さ、基板全体の平坦度、フィーチャーサイズの測定が可能です。プロセス開発とレチクル認定のために、マシンはウェーハ上の様々な電子ビームパターンの測定に特化しています。レーザー干渉ステージは、高解像度計測に必要な精度と優れた安定性を向上させます。ステージの動きはリニアモータによって駆動され、高速かつ正確なモーションコントロールを可能にします。CCDカメラは高解像度で、より高いダイナミックレンジで画像データを取得することができ、ウェーハ上の非常に暗い特徴を検出することができます。この資産には、高度なオンボードマイクロプロセッサもあります。これにより、モデルはウェーハテストと計測を自動的に実行できます。直感的なコントロールとカスタマイズ可能な測定機能を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。TENCOR 4500 SURFSCANは、ウェハテストと計測のための高効率で正確なツールです。高度な機能と高精度により、世界有数の半導体メーカーに信頼性の高い品質管理ソリューションを提供します。業界において非常に貴重な資産であり、現在では製造環境の標準的な部分となっています。