中古 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293598476 を販売中

KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN
ID: 293598476
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、半導体チップの性能と品質を監視するために設計された画期的なウェハテストおよび計測システムです。KLA 4500 SURFSCANは、統合されたコンボセンサーにより、ウェーハ表面に広範囲の微細構造を監視するための包括的なセンサプラットフォームを提供します。その高性能とスケーラビリティにより、fromresearchや開発、欠陥追跡、オンサイトメトロロジーなど、さまざまなアプリケーションに最適です。TENCOR 4500 SURFSCANの中心には、輪郭、反射光、輪郭/反射など、さまざまな測定用の4種類のプローバーで構成されるコンボセンサーがあります。輪郭プローバは、ウェーハ表面の3Dプロファイルを以前のスキャンと比較して動作し、マシンが発生した可能性のある変更を検出することができます。反射光プローバーは、ウェーハの表面から反射された光を異なる角度でキャプチャし、特定の構造を識別するために使用できる画像を形成します。輪郭/反射プローバーは、ウェーハ表面のさらに詳細な画像を与えるために、両方のプロセスを組み合わせています。4500 SURFSCANには、強力な画像処理および解析ソフトウェアも搭載されています。高度なアルゴリズムを活用して、画像を分析し、欠陥を示す可能性のある表面変動を検出します。ソフトウェアはまた、データを解釈し、スキャンの結果に基づいてレポートを生成するために使用することができます。さらに、KLA/TENCOR 4500 SURFSCANは、他のシステムやプロセスと統合することができ、自動ウェーハ製造ワークフローの一部となることができます。KLA 4500 SURFSCANは、半導体ウェーハの表面フィーチャーを検査および分析するための強力なツールです。ウェーハ表面の非常に詳細な画像を提供し、最小の欠陥を検出することができます。その洗練された画像処理および分析機能、および他のシステムやプロセスとの統合機能により、あらゆるウェーハ製造施設にとって非常に強力な資産となります。
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