中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9388542 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、自動化された高度なウェハスキャンおよび分析機能を幅広く提供するように設計された最新のウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高度な技術と革新的な機能を組み合わせて、高速で高精度なウェーハの特性評価と分析を提供します。SURFSCAN 4000は、最も要求の厳しいウエハテスト環境向けに設計されており、フィールドおよびラボ測定にも適しています。KLA 4000 SURFSCANは、ハイダイナミックレンジのイメージングとレーザースキャッタアルゴリズムを使用して、シングルウェーハ上の幅広い物理的および化学的特性を数分で測定します。この技術は、引込められた誘電体、フリップチップのはんだボールの位置とサイズ、開閉接点、昇降ダイバンプ、はんだペースト、ノート、ボールおよびエッチング欠陥など、関連するすべてのダイレベル特性の高速キャプチャと特性化を可能にします。ウェハメトロロジーは、オートフォーカス機能を使用してウェハの表面形状を精密に検査することにより、さらに強化されています。SURFSCAN 4000ユニットには、自動検査、包括的なオンボード計測機能、強力なデータ分析機能が装備されています。高度な光学サブシステムは、優れたイメージングおよび非接触ウェーハ計測を提供し、ノット、突起、スリップなどの表面パラメータを測定するマシンの機能を拡張します。自動インスペクションおよび計測機能は、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して操作され、単一および複数のウェハロット検査の迅速な測定および分析が可能です。高度なデータ分析は、ドロップ検出器、コーナー検出器、視野、ノイズ測定への信号、エッチング速度など、包括的な測定機能を提供します。統合された光学検査および計測ツールにより、一貫した再現可能な測定が可能になり、コストのかかるデータ解釈が不要になります。SURFSCAN 4000アセットは、ウェーハテストと計測における業界をリードするソリューションです。高度な技術と革新的な機能により、速度、精度、再現性、コスト効率、柔軟性を向上させ、最も要求の厳しいウェーハテストと計測ニーズを満たします。これは、ルーチンおよび大量のウェーハテストのニーズ、ならびにフィールドおよびラボアプリケーションに最適なソリューションです。