中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9248058 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、マイクロエレクトロニクス製造におけるプロセス制御用に設計された包括的なウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、クアッドセル光学および干渉イメージング原理に基づいており、高精度の表面イメージングと分析および制御のための小さな機能の測定を可能にします。このユニットの光学プラットフォームは、さまざまな顕微鏡目的およびレーザービームを介してウェーハの複数の画像を取得し、3D計測と自動欠陥検出を可能にします。KLA 4000 SURFSCANは、明るいフィールド、暗いフィールド、散乱および総レーザー強度顕微鏡を使用して、個々の原子レベルの欠陥や異常を検出することができます。また、プロセス制御のために異なる深さで膜厚や臨界寸法などのパラメータを測定および記録する機能も備えています。このマシンは、ナノメートルレベルの解像度でウェーハ全体の欠陥を自動的に特徴づけ、分類し、測定します。その高いスループットにより、ウェーハの迅速かつ効率的な診断が可能になり、製造メーカーはプロセスに関連する欠陥や異常を迅速に特定、分析、対処することができます。さらに、このツールには、詳細で包括的なレポートを迅速に生成するための高度なレポート作成アプリケーションを含む、さまざまなデータ分析ソフトウェアパッケージがあります。TENCOR 4000 SURFSCANは、自動および手動のウェハテストおよび分析機能を提供します。高度なステージオートメーションと自動化されたハンドリング資産により、ウェハローディング、アンロード、位置決めを自動化できます。また、デュアルレーザーイメージング装置、6軸電動ステージ、自動ウェーハスワップアウトなど、ウェーハの正確な取り扱いや位置決めにも幅広く対応しています。統合されたモーションコントロールシステムにより、ウェハスキャンおよびステップアンドリピート操作が可能になり、他の計測システムや検査システムでの正確なウェハオリエンテーションが可能になります。4000 SURFSCANは、プロセス制御のための幅広い表面パラメータを測定および制御するように設計されています。ウエハベースの高度かつ独自のイメージング機能により、反射防止コーティング、化学的機械的研磨、多角形、平坦性および曲率パラメータ、リソグラフィ登録精度、およびその他の広範囲の測定の表面検査が可能です。このユニットは、包括的な欠陥解析を提供するために、自動検索、レポート、スキャン領域、重大な寸法、欠陥サイズなど、幅広い欠陥検出設定を備えています。このマシンは、グローバルな業界標準に完全に準拠しており、ソフトウェアマクロや画像解析ソフトウェアなど、多くのオプション機能が搭載されています。優れた振動耐性を持ち、ISO 5分類のクリーンルームで動作するように設計されています。このツールは、最高の精度と信頼性のために設計されており、高精度の生産ラインでの使用に適しています。