中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9205755 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、半導体業界で使用されるウェーハの正確な地形測定を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。SURFSCANシステムは、スピンドルモータ駆動段を使用してウェーハを完全に整列させて移動させ、高度な計測アルゴリズムを使用してウェーハの地形や形状を正確に測定します。SURFSCANの高度な光学ユニットには、照明付き反転顕微鏡、4デジタル信号プロセッサ、LED照明が含まれており、顕微鏡が表面欠陥を正確に検出および測定することができます。ステンレス鋼の参照球が測定の正確さそして一貫性を保障するのに使用されています。SURFSCANは、測定プロセス中にウェーハ表面の詳細な画像をキャプチャするストロボイルミネータとともに、高度で高速なCCDカメラを備えています。可変スキャンレートがあり、ウェーハのサイズとアプリケーションの特定の要件に合わせて調整できます。ウェーハトポグラフィックデータはメモリに保存され、他のデバイスと送信または共有することができます。SURFSCANに搭載されている計測アルゴリズムは、手動測定に必要な時間のほんの一部で包括的な表面解析を可能にします。この機械は、ルート平均正方形（RMS）の粗さ、ピーク・ツー・バレーの粗さ、ライン幅などの標準パラメータを詳細に分析できます。SURFSCANは使いやすく、維持しやすいです。これは、スキャン速度から測定モードまで、すべてのパラメータの簡単なナビゲーションと制御を可能にする高度なユーザーインターフェイス機能を備えています。完全に自動化された操作は、オペレータの介入を最小限に抑える必要があり、自動化された校正手順は、正確で反復可能な結果を得るためにツールを迅速に校正するために使用されます。KLA 4000 SURFSCANは、高精度で高度なウェハテストと計測資産です。高度な光学モデルと高度な計測アルゴリズムにより、ウェーハの正確で信頼性の高い地形測定が可能です。高速で効率的で使いやすく、メンテナンスも簡単で、半導体業界で使用されるウェーハの品質を評価するのに最適です。