中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9160808 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、製造コストを削減し、製品品質を向上させるために、物理的欠陥、電気ショート、およびパラメータコンプライアンスのために半導体ウェーハを検査するために設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。レーザースキャン、光学散乱、磁気光学プロフィロメトリー、散乱計測、2Dイメージセンサ計測など、いくつかの技術を利用しています。このシステムは、マシンビジョン、ロボティクス、プロセス制御などのさまざまなオートメーション技術を統合して、ウェーハの層、線幅、厚さなどの電気特性を正確かつ効率的に測定します。統合されたユニットには、高速スキャン、高度なソフトウェア制御、およびデバイスのテストおよび検査機能も含まれています。Surfscan 4000マシンには、ウェーハのテストを迅速かつ正確に行うための自動プローブステーションなど、いくつかのハードウェアコンポーネントが含まれています。このツールには、スキャンレーザー干渉計（SLI）、電気試験治具（ETF）、専用カメラ、収集されたデータを分析する分析プロセッサなど、いくつかのデータ収集機器も含まれています。このアセットには、テスト手順の正確なレプリケーションを可能にするプロセス制御ソフトウェアと、エラー検出を可能にするソフトウェア機能も含まれています。Surfscan 4000の光学モデルには、反射輪郭照明装置（RCIS）などのいくつかのコンポーネントも含まれています。これにより、表面プロファイル、線幅、角度測定、CD非均一性などの機能を正確に測定できます。このユニットは、シリコンからヒ素ガリウム、その他の材料まで、あらゆる種類のウェーハに使用するように設計されています。Surfscan 4000は、3D構造を含む複雑なウエハ構造を測定および評価することができ、費用対効果の高いウエハ検査に適しています。このマシンは、シングルウェーハとバッチ処理の両方に構成することもできます。大量の製造ラインでの検査に使用でき、品質管理や研究開発に使用できる高性能で高精度な結果を提供することができます。全体として、KLA 4000 SURFSCANは、製造コストを削減し、製品品質を向上させるために設計された、高度で自動化されたウェーハ試験および計測ツールです。ウェーハのコンポーネントが業界および顧客の要件を満たすことを確実にするために、電気特性、線幅、厚さ、およびその他の機能を迅速かつ正確かつ再現可能に測定できます。