中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9157364 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、最先端のウェーハ試験および計測機器です。パターン化されたウエハーの迅速かつ正確で自動化された検査を提供するように設計されており、プロセスの監視、欠陥管理、および歩留まりの改善を可能にします。このシステムは、軽量の光学顕微鏡サブシステム、音響イメージングサブシステム、および画像処理サブシステムで構成されています。Surfscanの光学サブシステムは、高度なイメージング機能を使用して、高解像度の欠陥検査と複数の倍率での寸法/形態測定を可能にします。このユニットは、ダークフィールドおよびブライトフィールド顕微鏡の両方の特性とオプションのUV照明を使用して、幅広いウエハ検査アプリケーションを可能にします。パターン化されたウエハ上のサブミクロンレベルの欠陥を精度と精度で検出し、画像化することができます。KLA 4000 SURFSCANの音響イメージングサブシステムは、レーザー音響顕微鏡を使用して、ウェハサイズと厚さの広い範囲にわたって非破壊的な焦点特性を提供します。この機能は、超低k誘電体の欠陥を検出し、ウェーハ深部の埋め込み層を検査するのに特に役立ちます。音響イメージングサブシステムは、300 nmから10ミクロンの範囲の特徴サイズを検出することができ、同様の特徴とさまざまな欠陥タイプの間で高いレベルの区別を持つ。Surfscanの画像処理および解析サブシステムは、高度なアルゴリズムを使用して、自動化された画像セグメンテーション、パターン認識、および画像分類を実行します。また、定義されたプロセス内の変更を検出し、パターンを特定し、幅広いウェーハ機能と欠陥を特徴付ける機能も備えています。画像処理および分析機は、初期検査時とウエハランタイム監視時の両方において、ウエハ特性の詳細な概要を提供するように設計されています。これにより、迅速なトラブルシューティングが可能になり、製品の迅速な受け入れが可能になります。TENCOR 4000 SURFSCANは、ウェーハテストと計測に効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。高度なイメージング機能、音響イメージング機能、画像処理および解析機能を組み合わせることで、さまざまな欠陥を高精度かつ高精度で検出および評価することができます。ウェハテスト、プロセス監視、欠陥管理に最適なツールで、製造メーカーはコストを削減しながら歩留まりを改善できます。