中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #3787 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、大量の半導体製造のために設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、パターン化およびバンプ計量特性評価のための最新の技術を提供します。欠陥検査、臨界寸法（CD）測定、およびオーバーレイアライメントに使用され、ウェーハが生産要件を満たしていることを確認します。このユニットは高精度のステージと高度な光学系を備えています。真空環境で動作し、デバイスレベルから大きなテストチップまで測定できます。また、標準工具よりも高速でスキャン範囲を45倍に拡大する高速ステージも備えています。その4軸スキャンは、単一のセットアップでユーザーの柔軟性を提供します。このツールには、ウェーハ検査をより速く、より正確にするいくつかの機能が装備されています。その組み込みアーキテクチャは、完全な計測に必要な複数のスキャンを高速化します。また、ウェーハ欠陥の迅速な特性評価のためのオンボードデータ分析も備えています。さらに、必要に応じてオンサイトハードウェアのアップグレードを提供します。KLA 4000 SURFSCANには直感的でグラフィカルなユーザーインターフェイスがあり、ユーザーとアセットとのやり取りを簡素化します。高度なパターン認識、リアルタイム分析、さまざまなレポートツールにより、検査レポートを簡単に作成できます。このモデルには、トータルコストを削減しながらスループットを向上させる自動モードもあります。小さな特徴と複雑な形状を再現可能な精度で測定することができます。また、低損傷の光源により、デバイスの性能に悪影響を与えることなくウェーハ測定が可能です。この装置は高度な計測機能を備えています。ナノ構造、重要寸法、オーバーレイアライメント、線幅、形状など、さまざまな特徴と構造を測定できます。このシステムは、複数のプローブ技術を使用して高解像度の画像を取得し、包括的な分析を実行します。TENCOR 4000 SURFSCANは、製造プロセスに柔軟で強力な試験と計測を提供します。幅広い測定機能と高精度により、大量のウエハ検査および特性評価に最適なソリューションです。