中古 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #131418 を販売中

KLA/TENCOR 4000 SURFSCANは、高度なウェハテストと計測用に設計された機器です。このシステムは、ユーザーにさまざまなウェーハ特性を測定および検査するための非常に効率的で費用対効果の高い方法を提供します。新しいウェーハテストおよび計測ユニットは、高度なハードウェア、インテリジェントソフトウェア、高度な画像解析機能で最もよく知られています。この機械はX1光学顕微鏡を使用して、広い視野でサンプル表面の画像をキャプチャします。この機能により、広範囲の測定が可能になり、ユーザーは必要なデータを最小限の労力で迅速かつ正確に取得できます。X1顕微鏡には、測定中のユーザーエラーを低減するオートフォーカス機能も搭載しています。このツールにはパターン認識アルゴリズムも組み込まれており、自動測定と欠陥識別が可能です。このアルゴリズムは、希望するパターンサイズ、形状、および表面トポロジからの微細な偏差を検出するように設計されています。さらに、この資産には独自のソフトウェアエンジンが搭載されており、高度な測定と欠陥の識別が可能です。このソフトウェアは、しきい値の定義、パラメータの設定、プロセスフローの設定、後処理の操作を行う機能をユーザーに提供します。KLA 4000 SURFSCANはまた、ユーザーにさまざまな革新的な機能を提供します。例えば、寸法計測などの幅広いウエハテスト項目に対応しています。さらに、最も困難な表面でも最も困難な欠陥を検出またはローカライズすることができます。このモデルは、STDF、 ITRF、 SAWなど、多くの標準フォーマットとも互換性があります。高性能を確保するために、機器にはさまざまな安全機能が含まれています。これには、最適化されたイメージングレベルを維持するための自動露出制御と、サンプルを損傷から保護するための過電圧保護機能が内蔵されています。TENCOR 4000 SURFSCANには、正確なアライメントと一貫したサンプル処理を保証する高精度の真空ステージも含まれています。全体として、4000 SURFSCANは信頼性が高く経済的なウェーハ試験および計測システムです。高度な画像解析機能と堅牢なソフトウェアエンジンにより、ユーザーは非常に効率的で費用対効果の高い方法でウェーハ特性を最適化し、欠陥を迅速に特定できます。