中古 KLA / TENCOR 365 UV #9353977 を販売中
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ID: 9353977
ヴィンテージ: 2000
Defect inspection system
INTERNOVA ICLS-RTX Mask aligner
SMIF
Main body:
MLS
Robot arm
Robot and controller
Stage
COHERENT i-Line laser
He Ne Laser
Optic module
Board
Facilities module:
Heater exchanger
COHERENT i-Line laser controller
Power supply
With KLA 60 (KLA 50):
Board
PC Monitor
Board power supply
IC Board
2000 vintage.
KLA/TENCOR 365 UVは、幅広い半導体デバイスやナノ構造を分析するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、マイクロエレクトロニクス部品のナノスケールイメージングを提供することができる高解像度の4方向運動高度光学顕微鏡を備えています。複数の検出器（プローブ、UVフォトマルチプライヤ、イメージング）を光学顕微鏡ユニットに統合し、ウェーハのさまざまな物理的、電気的、化学的特性を測定できます。さらに、精密フォーカシングのための独自のオートフォーカスアルゴリズムと3Dフィールドコントロールの深さも含まれています。業界トップクラスの精度と感度を有しています。これは、ナノスケール分解能でCD-SEMイメージングと測定を行うことができ、ナノスケールの製造プロセスと潜在的な欠陥検出に関するより大きな洞察力をユーザーに提供します。KLA 365 UVは、さまざまなパラメータ設定を自動化し、研究開発、生産、品質保証設定に最適化されています。TENCOR 365 UVツールは直感的なユーザーインターフェイスで構築されており、ワークフローの最適化と効率的な操作を可能にします。ユーザーの要件に合わせてカスタムレポートを生成するスマートレポート機能など、生産性を最大化するためにさまざまなツールが統合されています。アセットは、主要なソフトウェアパッケージと互換性があり、シームレスな照合と結果の共有のためのさまざまなデータエクスポート形式を備えています。優れた性能に加えて、365 UVは堅牢で堅牢な安全設計を提供します。このモデルには、すべてのユーザーが危険な放射や感電のリスクから保護されていることを確認するために、安全ライトカーテンとデジタルI/O保護が含まれています。さらに、KLA/TENCOR 365 UVはISOおよびTUV規格に完全に準拠しており、いくつかの厳しい安全テストに合格しています。KLA 365 UVは、最も正確な結果と最高の安全性をユーザーに提供する極端なスループットウェーハ試験および計測機器です。この汎用性の高いシステムにより、あらゆるタイプの半導体デバイスとナノ構造を迅速かつ容易に分析し、最高品質で信頼性の高いデバイスを製造することができます。
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