中古 KLA / TENCOR 300DFF1P #9283029 を販売中

KLA/TENCOR 300DFF1P装置は、最高の精度と精度で包括的な測定、分析、およびプロセス監視を提供する専用のウェハテストおよび計測プラットフォームです。このシステムにより、プロセスエンジニアは包括的なテストを実行し、重要なプロセスの障害を迅速、正確、効率的に検出および特定できます。KLA 300 DFF1Pは、動的レチクル検査、自動ウェーハ計測、検査および洗浄、テクスチャ測定、3D計測、CD SEM（スキャニング電子顕微鏡）、ドローン駆動空中計測など、幅広い先進技術を備えています。このマシンは、高速で強力なウェーハ分析と測定のための広域計測を利用しています。これにより、同一基板上および同一パラメータ設定によるウェーハの測定が可能となり、より正確な比較とデータ分析が可能となります。この技術は、ウェーハの傾きと回転を分析し、粒子分布を特定し、ウェーハの重要な電気特性を決定し、臨界寸法（CD）および臨界寸法均一性（CDU）を含む計測測定を実行するために使用されます。このツールは、効率的なテストを容易にするために、強化されたルーティング、オートメーション、およびその他の高度なプログラミング機能を備えています。ルーチンタスクの自動化は、手動による介入を最小限に抑えながら、自律的な実行を可能にするプログラマブルなプロトコルスクリプトによって達成されます。自動化されたパターン認識アルゴリズムにより、ウェーハの重要な電気パラメータをより徹底的に分析し、プロセス障害メカニズムを迅速かつ正確に特定できます。TENCOR 300 DFF 1 Pには、特許取得済みのエッジ検出アルゴリズムと組み合わせた画像ベースの粒子検出およびクリーニングアセットが含まれています。このモデルは、欠陥と粒子が正確に識別され、分離され、プロセスの中断を最小限に抑えて素早く除去されることを保証します。テクスチャ測定用のマルチセンサーアーキテクチャを備えており、粒度、向き、面粗さの解析が可能です。また、高感度な3D計測ユニットを用いてナノ計測を解析し、ウェーハ上の特徴の高さ分布を正確に把握します。機械の解像度は、トレンチやビアなどの3D構造の膜厚、線幅、CD、深さの変化を検出するのに十分な高さです。最後に、このツールは、優れた3Dデータ収集と分析のための組み込み自動ドローン技術を備えた空中計測も備えています。自動化されたドローンによる計測資産により、高精度で信頼性の高いウェーハ表面解析が可能になります。また、電流電圧、静電容量、インダクタンス測定により、徹底した電気試験が可能です。これにより、パラメータとプロセスの最適化をより適切に制御できます。