中古 KLA / TENCOR 2830 #9401094 を販売中
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KLA/TENCOR 2830ウェハテストおよび計測機器は、トップダウンのリアルタイムウェハレベルの検査および欠陥検出アプリケーション向けの包括的なソリューションです。このシステムは、大きなダイナミックレンジのイメージングと小さなフットプリントを組み合わせて、欠陥部位の効率的なレビューを行います。このユニットは、ミクロンからサブミクロンまでの特徴サイズを含むウェーハ構造のダイナミックレンジと粒子特性のテストおよび分析用に設計されています。さらに、このマシンはブリッジ、エッチング、プロセス特性評価などの重要なウェハレベルのテストにも使用できます。KLA 2830ツールは、フィールドエミッタアレイ(FEA)技術を使用して、最大解像度64 um/ピクセルの高解像度画像を提供します。また、フルエリア特性、トップダウンイメージング、粒子検出、計測など、さまざまな性能オプションを提供しています。また、独自の光透過技術を駆使して粒子を撮影・検出し、0。2um程度の粒子を検出することができます。TENCOR 2830には、自動化された改良されたテスト機能をユーザーに提供する高度なソフトウェアも含まれています。機能には、データの効率的なレビューを容易にする適応的なデータ分離と収集機能が含まれます。その他の注目すべきソフトウェア機能には、強力な検索エンジン、欠陥分類と注釈、詳細な統計データ分析、視覚的なレポートなどがあります。ユーザーフレンドリーな機器操作と堅牢なパフォーマンスのために、2830システムは直感的なインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このインターフェースにより、ユーザーはさまざまなユニット設定を確認し、データを迅速に分析することができます。このマシンはまた、ユーザーに設定の保存とリコール、およびデータのバックアップを迅速に行う機能を提供します。KLA/TENCOR 2830ウェハテストおよび計測ツールは、クラス最高の静的および動的測定および分析機能を提供します。フットプリントが小さく、ダイナミックレンジが大きいため、ウェーハの大規模生産や検査に最適です。さらに、高度なソフトウェア機能と直感的なユーザーインターフェイスを備えた、ウェーハレベルのテストと分析のための強力で信頼性の高いツールです。
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