中古 KLA / TENCOR 10-02000 #9248699 を販売中
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KLA/TENCOR 10-02000は、半導体ウェーハの欠陥を高速、信頼性、正確に検出するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な技術を使用して、優れたイメージング、分析、およびウェーハプロセス監視機能を提供します。このユニットは、高度なイメージングおよび分析技術を使用して、任意の形状を検出および分析し、大規模なパターンデータベースを統合し、比較解析を作成して評価し、線の特徴の高解像度画像や3D構造などのさまざまな構造で非破壊光学測定を実行します。自動化された操作が組み込まれているため、さまざまなウェーハ構成を迅速かつ正確に検査および測定できます。KLA 10-02000は、シリコンビア(TSV)検査の強化、ウェーハ間ウェーハの比較、歩留まり向上のために設計されています。これは、後で欠陥や欠陥を識別するための繰り返し可能なプロセスを持っており、プロセスの完全性とトレーサビリティを確保するのに役立ちます。また、最先端の振動アイソレータテーブルを備えており、ウェハの正確な配置と計測精度を実現しています。さらに、温度制御ステージは、すべての温度に敏感な測定のための優れた再現性を保証します。平面及び傾斜したスルーシリコンビア構造物の包括的なフロントツーバック検査をサポートする強力な画像取得解析ツールが印象的です。これには、マルチスペクトル充電結合デバイス(CCD)カメラと、高度な光学およびデジタル画像処理が含まれています。TENCOR 10-02000は、汎用性とメンテナンスがほとんどなく、毎回一貫性のある結果を提供します。その低コストと1%未満のダウンタイムは、任意の生産ラインのための優れたツールになります。また、最大3つのプロセスを同時に実行することができ、ウェーハマップを印刷してウェーハインテグリティを検査することができます。10-02000は、ウェーハテストと計測のための比類のないレベルのパフォーマンスと汎用性を提供します。高度なイメージング、分析、ウェーハプロセス監視技術を組み合わせることで、あらゆる種類のウェーハをスピードと精度で検出、測定、分析できます。その汎用性の高い設計により、さまざまなウェーハテストのニーズに最適です。信頼性の高い性能と低メンテナンスコストにより、あらゆる生産ラインにとって費用対効果の高いソリューションとなります。
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