中古 KLA / TENCOR 0266951-001AA #9401899 を販売中

KLA/TENCOR 0266951-001AAウェーハテストおよび計測装置は、ナノメートルレベルでの再現性と高精度な測定を高速化するために設計された高度なシステムです。このユニットは、多数のハードウェア、ソフトウェア、校正ツールを組み合わせて、集積回路（IC）の詳細な表面および異物分析をウェーハ形式で提供します。ハードウェア部分はアクティブウェーハステージで構成されており、最大5台のウェーハを一度に読み込むことができます。ソフトウェア部分には、画像取得モジュール、統合画像解析モジュール、自動レポートジェネレータが含まれています。自動化されたアセットには、真空ピックアップツールとモーター付きサンプルホルダーが含まれており、ウェーハステージにロードされたウェーハやその他のオブジェクトの正確で再現可能な位置決めを保証します。この顕微鏡により、オペレータは、表面欠陥やその他の異常に対して40Xまでの解像度で、極めて近い範囲でデバイスを検査することができます。デュアルデジタルビデオカメラにより、オペレータは最大1000Xの画像をレビューできます。画像取得モジュールは、モノクロ、RGB、 YUVなど、さまざまな形式の画像を取得し、ゲイン、輝度、オフセット値を設定および調整することができます。画像解析モジュールは、デバイスのサイズ、形状、配置を測定し、欠陥を計算します。自動レポートジェネレータは、Excel互換レポートでデータを収集、集約、およびコンパイルします。KLA 0266951-001AAは、最も厳密な測定のために設計されており、ナノメートルレベル、ウェーハあたり最大2000万点以上、および2シグマの再現精度を測定できます。このモデルは、ウェーハ形式のICやその他のデバイスの品質管理と分析のための強力で信頼性の高いツールであり、あらゆるメーカーや研究施設にとって貴重な資産となっています。