中古 KLA / FILMETRICS Profilm 3D #293659647 を販売中

KLA/FILMETRICS Profilm 3Dは、ウェーハテストと計測のための最先端のソリューションです。リソグラフィやエッチングなどの製造工程を経て表面トポロジーや材料組成を測定する高度な技術を使用しています。この技術により、歩留まりモニタリングとプロセスの最適化が向上し、より高い半導体の信頼性とコスト効率の高い生産が保証されます。KLA Profilm 3Dには、最大4次元のレーザーセンサーが搭載されており、表面、高さ、プロファイル特性の範囲を分析することができます。高度なオーバーレイおよびフォーカス・システムにより、1ナノメートル未満の正確な測定が可能になり、ウェーハ構造と組成の微細な変化をリアルタイムでキャプチャできます。FILMETRICS Profilm 3Dは、複数のデータ収集システムをサポートし、さまざまなウェハサイズや材料に適しています。ラフ面とスムーズ面、透明面、カーブ面、拡散面の両方を測定できます。この機器は、ウェーハ管理とレポート機能も備えており、ユーザーは時間をかけて結果を監視し、異なるデータのセットを簡単に比較することができます。このシステムは、クリーンな環境を維持し、高い歩留まりを維持するように設計されています。一体型クリーンルーム装置には、真空ユニット、ダストフリーのチャンバー、外部からの汚染を防ぐガス隔離機などがあります。さらに、Profilm 3Dには、温度、圧力、露出などのパラメータを調整して最適な歩留まりを確保できるリアルタイムのプロセス制御ツールが含まれています。さらに、KLA/FILMETRICS Profilm 3Dは、自動環境と手動環境の両方で使用できます。直感的なインターフェースにより使いやすく、経験豊富なオペレータやオペレータがその機能にすばやく慣れることができます。要約すると、KLA Profilm 3Dアセットは、ウェーハテストと計測のための高度なプラットフォームです。表面の質感や組成を極めた精度で測定し、信頼性の高い歩留まりを確保するためのプロセス最適化を提供します。統合されたクリーンルーム技術とリアルタイムプロセスコントロールにより、モデルは常に最高の状態で動作し、直感的なインターフェイスにより使いやすくなります。