中古 KLA / FILMETRICS F20 #293665953 を販売中

KLA/FILMETRICS F20は、低（100-200nm）および高（1-20um）の横分解能SIRおよび厚さ計測アプリケーションの両方の包括的なワンストップ測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは完全に自動化された非接触光学設計を備えており、オペレータ入力を最小限に抑えて高速かつ正確な結果を提供し、ユーザーのキャリブレーションの必要性を排除します。このユニットの光学グレーティングベースのオートフォーカスおよびステージスキャン技術は、幅広いアプリケーションライブラリと自動化されたデータ分析ルーチンと相まって、リアルタイムの自動検査、分類、分類を可能にします。これにより、市場で最高レベルの精度と再現性が可能になり、手動の解釈と調整が不要になります。KLA F20には、特徴サイズ、粗さ、ラミネート、地形、エッチレートなどを測定するためのデータ解析ルーチンのライブラリが含まれています。また、故障モードと重大度レベルの自動分類も提供します。ウェーハの重要な統計情報を収集するだけでなく、レイヤリングやフォトレジスト特性の分析まで、さまざまなパラメータをキャプチャするようにカスタマイズすることもできます。FILMETRICS F20は、薄膜成膜、マスク製造、リソグラフィ、エッチング、メッキ、メッキ、メタライズ、ウェーハ洗浄などの半導体およびオプトエレクトロニクスアプリケーションで動作することが認定されています。Si、 Ge、 Al、 InGaAs、 GaNなどの標準基板に対応しています。このツールは、お客様の計測ニーズに合わせてさまざまな検出ヘッドとレンズを装備することができます。F20の直感的なユーザーインターフェイスは、包括的なメニューから簡単にナビゲーションできるため、ユーザーはテストに必要なパラメータを素早く設定できます。アセットにはさまざまなビジュアライゼーションツールがあり、ユーザーは設定を変更してリアルタイムで結果を表示できます。さらに、高度なデータ処理機能により、Excelに結果をすばやくエクスポートして分析することができます。このモデルはまた、診断とトレーサビリティ機能の完全なスイートを提供しています。トラブルシューティングツールを使用すると、問題の診断やトラブルシューティングを迅速に行うことができます。トレーサビリティ機能により、部品の追跡、実行、結果の追跡が可能です。最後に、装置は操作のための最低の資格を要求する使いやすいのために設計されています。全体として、KLA/FILMETRICS F20システムは、ウェーハ試験および計測に非常に有用なツールであり、生産および検査プロセスを改善する包括的で自動化された正確な測定を提供します。このユニットは、直感的な操作と視覚化機能、高速な結果、正確な測定、トレーサビリティ機能を組み合わせることで、要求の厳しいウエハテストのニーズに対応する完全なソリューションを提供します。