中古 KLA / FILMETRICS F20 #293637542 を販売中

KLA/FILMETRICS F20は、半導体ウェーハのさまざまな特性を信頼性が高く、再現性があり、正確に測定できるように設計されたウェーハ試験および計測機器です。光干渉技術を駆使して、厚さ、地形、その他の表面特性など、さまざまな材料特性を正確に特性化します。KLA F20は、精密ステージ、光源、光学、エレクトロニクスの4つの主要コンポーネントで構成されています。精密ステージは、ウェーハをスキャンし、光源に対する位置を制御するために使用されます。光源は非常に安定したLEDで、可視波長で発光します。光学系は、放射光の方向と偏光を制御する特別に設計されたレンズとフィルターです。電子部品は、ユニットに電力と必要なデータを提供します。FILMETRICS F20には、シングルポイントスキャンとリニアスキャンという2種類の測定パラメータが組み込まれています。単点測定の場合、ステージはユーザー定義の場所に移動し、マシンは反射光のピークからピークまでの振幅を測定します。この情報は、ウェーハの厚さ、地形、およびその他の材料特性を計算するために使用されます。リニアスキャン測定の場合、ユーザーはパスを定義し、ツールは単点測定と同じピーク/ピーク振幅測定プロセスを使用してウェーハをスキャンします。その後、すべてのデータが収集され、処理されて2D地形図が生成されます。F20は、ウェーハの高速、正確、再現性のある測定を提供するように設計されています。オンボードエレクトロニクスは、高度なアルゴリズムを使用して、サーマルドリフトや振動などの条件の変化を調整します。このアセットにより、測定精度と再現性の検証も可能になり、測定が許容範囲外の場合はフィードバックを提供します。KLA/FILMETRICS F20には、カスタム特性相関測定を行うオプションのSRSモジュールがあります。KLA F20は、半導体ウェーハの材料試験およびプロセス制御に最適なツールです。このモデルは、インストール、使用、メンテナンスが簡単で、ユーザーフレンドリーな操作が特徴です。ウェーハを高速で正確に評価するための幅広い測定機能を提供します。