中古 KEYENCE LK-G87 #9011593 を販売中

KEYENCE LK-G87は、ウェーハの欠陥を自動的に検査し、パラメータを測定し、デバイス特性を特定して評価することができるウェーハテストおよび計測機器で、ユーザーはウェーハの品質を迅速かつ正確に監視および評価することができます。このシステムは、測定精度と再現性のための非接触光学的およびレーザースキャンなどの高度な技術を統合しており、半導体製造プロセスのさまざまなプロセスを迅速かつ自動的に監視することができ、効率の向上と製品歩留まりの向上を可能にすることを意味します。このユニットは高速スキャン速度と堅牢なプラットフォームを備えているため、厳しい生産環境のテストと分析に最適です。また、高度な光学ズームマシンとマルチアングルスキャン機能により、ハイエンド機器を高速で正確に測定することができます。これにより、解析精度とスループット速度が向上します。さらに、LK-G87には、ウェーハの高速で安全で効率的な処理を支援する自動ハンドリングツールがあります。これにより、処理にかかる時間が短縮され、迅速かつ信頼性の高い結果が得られます。ウェハテストおよび計測モデルは、ゲート酸化物の厚さ、ゲートピッチ、接触穴寸法、表面粗さなどの物理パラメータも測定できます。この装置は、2Dプロファイルと3Dプロファイルの両方をサポートする機能を備えているため、複雑なトポロジを持つウェーハ上のフィーチャーの分析に最適です。さらに、KEYENCE LK-G87は、測定および分析プロセスを合理化するために、階層検出能力と深度比較プログラムを提供しており、ウェーハ上の複数のレイヤーが正確な許容範囲内かどうかを確認できます。さらに、ウェーハ表面に現れる可能性のある欠陥を特定するための欠陥検出モジュールも提供しています。このユニットは、オブジェクトを自動的に見つけてフラグを付けることができ、あらゆる種類の欠陥を見つけるための時間と労力を大幅に削減します。最後に、デバイス特性を評価するための高度なデバイス生産分析機能を備えており、ユーザーは部品を詳細に測定および評価することができます。結論として、LK-G87は、正確で効率的な検査のための最適なウェーハテストおよび計測ツールです。KEYENCE LK-G87は、高速スキャン、優れた精度、自動化されたハンドリング能力、欠陥検出モジュール、デバイス生産分析機能を組み合わせることで、高品質のウェーハをより効率的に確保する優れた機能を提供します。