中古 KEYENCE LK-G11 #9109318 を販売中

KEYENCE LK-G11は、半導体ウェーハのさまざまな欠陥や特性を検査するために使用される自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、複数のウェーハの高精度な測定とテストを同時に行うことができます。このユニットは200mm自動ロードポートに基づいており、TEL （Top Examination Loader）、 FOUP （Front Opening Unified Pod）、およびJEDEC試料カセットを受け入れることができます。専用顕微鏡によるパターン認識が可能で、様々な特性評価機能を備えた各種ハードウェアやソフトウェアアプリケーションを搭載しています。GaAs （Gallium Arsenide）、 Si （Silicon）、 SiGe （Silicon-Germanium）、 SOI （Silicon Insulator）、 COO （Complementary On-Off）ウェーハなどの半導体ウェーハの検査に使用できます。この機械は、独立した光学スケールと線形スケールを使用して正確な測定を行う高精度測定機能を備えています。マルチポイントパラメータマッピング機能も搭載しており、ウェーハ上の複数のポイントを同時に測定・検査することができ、1つのウェーハで製品特性を正確に測定することができます。また、製品の電気特性を分析し、傷、チップ、ブリッジ欠陥などのマイクロレベルの欠陥、および製品の地形および表面汚染を検出および測定するために使用することができます。ツールの高度なソフトウェアは、ウェーハ上で簡単にデータを取得することができます、複数の変数と計測機能と。また、グラフィカルなウェハマップや統計レポート機能でレポートを生成することができ、測定データを様々な方法で分析することができます。LK-G11は、さまざまなウェーハ試料や製品を信頼性の高い正確な検査および検査手段を提供し、半導体ウェーハ処理および計測に関わるラボにとって貴重なツールとなります。